劉澤文

中國電子學會高級會員

劉澤文,博士,教授,1960年12月20日出生於安徽肥東,1983年七月年畢業於中國科大物理系。1994年4月赴法國巴黎LURE實驗室從事LIGA技術研究工作,1997年4月獲法國巴黎南大學博士學位,現為中國電子學會高級會員,電子學會學術工作委員會委員,《微細加工技術》編委,北京碧華環境工程有限公司名譽顧問。

成就及榮譽


1997-1999在清華大學從事博士后研究工作,進行MEMS技術研究;出站后留清華大學微電子學研究所從事教學和科研工作,曾任微電子所器件室副主任,微電子學研究所副所長等職務。他參與或負責多項重要科研項目,包括國家自然科學基金項目、973項目、985項目,直接負責的過項目總經費近千萬元。曾在國內首次用X射線光刻方法獲得高分辯率特徵線條及厚膠微機械結構,所參與的同步輻射項目獲科學院科技進步一等獎,所建立的厚膠溶解模型多次被國際學者引用。
1999年開始在國內率先開展RFMEMS研究工作,研製出多種形式高性能MEMS開關等器件。目前的研究興趣是微電子和微系統工藝技術,RFMEMS,BioMEMS,納米諧振器,集成感測器等。
現任中國電子學會高級會員,電子學會學術工作委員會委員;《微細加工技術》編委,多次為中國科學院主編的中國科技發展年度報告撰文;是《微系統設計》一書的中文譯者。已經在國際國內學術刊物和重要會議上發表學術論文一百篇以上,其中SCI, EI引用的論文30多篇。擁有7項國家發明專利,一項歐洲專利

專攻項目


1. 納米諧振器基礎研究(自然科學基金項目);
2. 面向生物醫學的超靈敏生物檢測系統優化研究(973項目);
3. RFMEMS開關研究(上海市創新項目);
4. 納電子和微系統技術(中荷合作項目)。