微細加工技術

王振龍，哈爾濱工業大學機械製造及自動化系博士生導師。 1983.9-1987.7，哈爾濱工業大學機械工程系本科生，學士學位。 1987.9-1990.1，哈爾濱工業大學機械工程系碩士生，碩士學位。 1997.3-2000.8，哈爾濱工業大學機電學院，博士生，博士學位。 2001.5-2004.4，哈爾濱工程大學控制科學與理論，博士后。 1990.1-1998.9，哈爾濱工業大學威海分校，助教（1990-1992），講師（1992-1996），副教（1996-1998），教研室副主任（1992-1997）。 1998.9-現在，哈爾濱工業大學機械製造及自動化系，副教授（1998-2001），教授（2001-），博士生導師（2003-），系副主任（2002-）。黑龍江省機械工程學會理事，黑龍江省特種加工學會主任委員，中國機械工程學會微納米製造分會委員，全國高校特種加工教學研究會秘書長，日本精密工學會正會員，中國機械工程學會特種加工分會教育培訓委員會副主任。近年來先後完成和正在承擔國家自然科學基金重點及面上項目、國家863計劃項目、總裝備部預先研究項目、國防科工委基礎科研項目等10餘項。在微細加工工藝與裝備、基於電火花加工的新方法、多軸聯動數控技術等方面取得多項成果。在國內外學術刊物上發表論文70餘篇，其中被SCI、EI等檢索系統收入20餘篇，獲國防科技3等獎1項，獲國家專利3項，主編、參編著作、教材7部。

第1章 微型機械與微細加工概論/1

1.1 微機械及其特點/1

1.2 微細加工技術的概念及其特點/4

1.3 微細加工技術的分類/6

1.4 微細加工技術的應用/9

1.5 發展微細加工技術的意義/15

參考文獻/17

第2章 微機械與微細加工理論基礎/18

2.1 微機械學/18

2.2 微電子學/33

2.3 微光學/37

2.4 分子裝配技術/39

2.5 微細加工機理/41

參考文獻/4l

第3章 微細切削加工技術/44

3.1 微切削加工機理與物理特性/44

3.2 微細車削加工技術/50

3.3 微細銑削加工技術/58

3.4 微細鑽削加工技術/65

3.5 微細衝壓加工/69

3.6 微細磨料噴射加工/7l

3.7 微細切削加工工作環境/74

參考文獻/75

第4章 微細電加工技術/77

4.1 微細電加工技術概述/77

4.2 微細電火花加工的特點與實現條件/79

4.3 微細電極的在線製作與檢測/83

4.4 微細電火花加工中的脈衝電源與控制系統/90

4.5 微細電火花加工裝備/95

4.6 微細電火花銑削加工技術/100

4.7 微細電火花線切割加工技術/108

4.8 微細電化學加工技術/111

參考文獻/117

第5章 高能束流微細特種加工技術/118

5.1 電子束微細加工技術/118

5.2 離子束微細加工技術/126

5.3 激光微細加工技術/136

參考文獻/150

第6章 半導體材料的微細加工技術/152

6.1 集成電路的工藝基礎一一平面硅工藝/152

6.2 薄膜成形技術/154

6.3 摻雜技術/159

6.4 光刻技術/161

6.5 硅的體微加工技術/163

6.6 硅的表面微加工技術/171

6.7 鍵合技術/173

6.8