張韻

中科院半導體研究所研究員

張韻,男,博士,研究員,博士生導師。清華大學電子工程系電子科學與技術專業學士,喬治亞理工學院電子與計算機工程系博士。

人物履歷


曾職()半導司-研。初,職中國科學院半導體研究所中組部青年項目引進人才。中國科學院半導體研究所所長助理,“十二五”科技部“第三代半導體材料”總體專家組成員。目前科研重點是AlGaN/GaN基大功率高頻/電力電子器件、AlGaN基深紫外波段光電子材料與器件等。

研究領域


()半導紫源領域:組半導材料MOCVD生長研究;UVB波段(280-320nm)AlGaN基紫外激光二極體器件製備研究;UVC波段(200-280nm)AlGaN基高效紫外發光二極體器件製備及在污染物分解、殺菌消毒等領域的應用研究等。
()微器件領域:/基射頻/微波遷移率效管()材料及器件製備研究;/基增強型(-)材料及器件製備研究;/基射頻異質雙極晶管()材料及器件製備研究;AlN基體聲波濾波器製備研究等。
(3)第三代半導體單晶材料領域:高純半絕緣SiC單晶材料製備研究;AlN單晶材料製備研究等。

科研成果


在III族氮化物(GaN基材料)等第三代半導體材料及器件物理領域開展了多年研究,獲得了首個GaN基射頻異質結雙極晶體管(HBT)、高靈敏度深紫外雪崩光電二極體(APD)、高亮度深紫外發光二極體(LED)、電注入藍綠光半導體激光器(LD)、光泵浦深紫外半導體激光器等世界先進的研究成果,已在國際學術期刊發表論文30餘篇。2012年初入選中組部第二批青年項目。
(1)提出紫外光加強濕法刻蝕方法以及雙檯面耗盡層設計,降低GaN基紫外雪崩光電二極體的表面漏電流,在GaN體襯底上達到雪崩光電增益超過104並實現具備單光子探測能力的蓋革模式工作。
(2)在GaN體襯底上實現了420nm藍紫光和460nm藍光InGaN基半導體激光器的室溫連續激射,證實漸變AlGaN電子阻擋層能夠大幅度提升InGaN基激光器的性能。
(3)在藍寶石襯底上實現了最高響應頻率大於5.3GHz的GaN基射頻異質結雙極晶體管。並在GaN體襯底上達到了141KA/cm2的電流密度以及3.05MW/cm2的功率密度。
(4)在我國首次實現AlGaN基激光器短於280納米深紫外UV-C波段光泵譜激射,並在280納米波段深紫外LED中實現100mA大電流注入下光功率輸出超過10mW,壽命(L80)超過3000小時。