自燃氣體

自燃氣體（Pyrophoric Gas）

在半導體工業常用材料氣體中，硅烷，磷烷，乙硼烷均屬於自燃氣體。在生產，運輸，貯存和使用這些氣體時，應特別注意氣體不要泄漏，以防與空氣混合自燃，甚至形成爆炸性混合氣。