極微

《大毗婆沙論》定義的極微是不可細分的、不可感官經驗的：

不可斷截破壞貫穿。

不可取捨乘履摶掣。

非長非短。非方非圓。非正不正。非高非下。

無有細分不可分析。

不可睹見。不可聽聞。不可嗅嘗。不可摩觸。

《大毗婆沙論》定義的極微是不可單獨存在的，極微積聚成有變礙的色法:

此七極微成一微塵（aṇu）。是眼眼識所取色中最微細者。此唯三種眼見。一天眼。二轉輪王眼。三住後有菩薩眼。

七微塵成一銅塵（loha-raja）。有說。此七成一水塵。

七銅塵成一水塵（ap-raja）。有說。此七成一銅塵。

七水塵成一兔毫塵（śaśa-raja）。有說。七銅塵成一兔毫塵。

七兔毫塵成一羊毛塵（avi-raja）。

七羊毛塵成一牛毛塵（go-raja）。

七牛毛塵成一向游塵（vātāyana-cchidra-raja）。

七向游塵成一蟣（likṣā）。七蟣成一虱（yūka）。七虱成一穬麥（yava）。

七穬麥成指一節（aṅguli-parva）。二十四指節成一肘（hasta）。四肘為一弓（dhanu）。……

五百弓成摩揭陀國一俱盧舍(krośa)。成北方半俱盧舍。……八俱盧舍成一逾繕那（yojana）。

微聚

自《阿毗曇心論》開始出現了明確定義的極微聚或微聚概念。

“極微在四根十種應當知者。謂極微在眼中是知有十種。地種、水、火、風種。色種、香、味、細滑種。眼根種、身根種。耳、鼻、舌極微亦如是。身根有九種者。謂余身根極微九種。彼有一根種余如上說。餘八種者。於中余非根色中極微有八種。問此極微何界說。答謂香欲界中有香。色界中離香彼一切除香味種。余種如欲界說。”