電子束熔煉

電子束熔煉(electron beam melting)，高真空下，將高速電子束流的動能轉換為熱能作為熱源來進行金屬熔煉的一種真空熔煉方法。簡稱EBM。

1905年德國的西門子(Siemens)公司和Haisko用電子束熔煉鉭首次獲得成功，重熔錠的純度和加工性能都優於真空電弧爐重熔的錠子。但當時世界上的真空技術發展水平還很低，從而影響了電子束熔煉技術的發展。直到20世紀50年代，美國的Tomoscai公司才將電子束熔煉發展到工業化生產規模，引起了世界各國的關注。幾個工業發達國家相繼開展了電子束爐的研製工作，其中美國和德國發展最快。這樣，電子束熔煉也就發展成為一種新的特種冶金技術。中國是1958年開始電子束熔煉爐的研究和試製工作的。到了60年代已經具備了工業化生產的規模。

在高真空條件下，陰極由於高壓電場的作用被加熱而發射出電子，電子彙集成束，電子束在加速電壓的作用下，以極高的速度向陽極運動，穿過陽極后，在聚焦線圈和偏轉線圈的作用下，準確地轟擊到結晶器內的底錠和物料上，使底錠被熔化形成熔池，物料也不斷地被熔化滴落到熔池內，從而實現熔煉過程，這就是電子束熔煉原理。圖1是電子束熔煉原理示意圖。電子束爐的加速電壓一般使用在三萬伏左右，引起的X射線損失最大不超過0.5％，二次發射電子的損失會更少。所以電子束的能量幾乎是全部由電能轉換為動能，再由動能轉換為熱能。電子的運動速度V(km／s)可由下式確定：

W=593v1/2(km／s)

式中v為加速電壓，V。

電子束熔煉的工藝特點是在高真空環境下進行熔煉(熔煉真空度一般在10-1至10-3Pa)，熔煉時熔池的溫度及其分佈可控，熔池的維持時間可在很大的範圍內調整；熔煉是在水冷銅坩堝(結晶器)內進行的，可以有效地避免金屬液被耐火材料污染。因此可以說，電子束熔煉為一些金屬材料、特別是難熔金屬提供了一種不可缺少的精鍊手段。

電子束熔煉過程存在3種基本的冶金反應：(1)除氣。電子束熔煉可除去大多數金屬中的氫、且氫的去除很容易，一般在爐料被熔清之前即已基本完成：由於真空度高，熔池溫度及處於液態的時間可控，脫氮效果也很高。(2)金屬雜質的揮發。在電子束熔煉溫度下，凡是比基體金屬蒸氣壓高的金屬雜質均會不同程度地得以揮發去除。(3)去除非金屬夾雜物。氧化物及氮化物夾雜物在電子束熔煉溫度及真空度下，有可能分解出[O]及[N]被去除；[O]還可以通過碳氧反應而被去掉；此外，錠子自下而上的順序凝固特點也有利於非金屬夾雜物的上浮。

典型的電子束熔煉爐一般由6部分組成：(1)電子槍。電子槍是電子束熔煉爐的心臟。它包括槍頭(一般由燈絲、陰極、陽極等組成)、聚焦線圈和偏轉線圈等。電子槍按其結構形式可分為軸向槍(或稱皮爾斯槍)、非自加速環形槍、自加速環形槍及橫向槍，它們的基本結構及其在電子束熔煉過程中的工作情況示於圖2。電子槍的數量有單槍、雙槍和多槍等。(2)進料系統。如果原料為預製好的自耗電極時，一般採用縱向或橫向機械進料方式：如果原料為屑、塊或顆粒狀時，則採用給料倉的方式。(3)鑄錠系統。包括結晶器、拉錠機構和出錠機構籌。(4)真空系統。包括真空機組、真空室、真空管道及閥門和真空測量系統等。(5)電源系統。包括主電源(電子槍電源)及控制電源和操作電源等。(6)冷卻系統。包括全部冷卻用水及管道閥門等。

按其用的電子槍的類型不同，可分為環形槍、橫向槍及軸向槍電子束熔煉爐等3類；按其用途，可分為熔煉用爐、區域精鍊爐、電子束凝殼爐及多用途電子束熔煉爐等4類。

環形槍電子束熔煉爐

非自加速環形槍電子束熔煉爐的環形槍頭距金屬熔池僅有20mm左右，故又稱近環形槍電子束熔煉爐，其陰極受金屬蒸氣和噴濺物的侵蝕，壽命一般只有幾個小時，但它具有製作容易、成本低的特點，故常用作實驗室設備。

自加速環形槍電子束熔煉爐，加大了陰極和金屬熔池間的距離，故又稱遠環形槍電子束熔煉爐，其陰極的工作條件有所改善，但壽命一般也只有十幾個小時。

橫向槍電子束熔煉爐

橫向槍和結晶器上口幾乎處於同一平面，故又稱平面電子束熔煉爐。它既具有環形槍電子束熔煉爐的優點，其陰極工作條件又得到了顯著改善，使用壽命可提高到100h以上，但它與環形槍電子束熔煉爐一樣，槍處於熔煉室內，故熔化時真空度不能太低。

軸向槍電子束熔煉爐

軸向槍結構複雜、製造困難，屬遠聚焦電子槍，其陰極壽命可長達幾百小時。由於槍室可單獨抽真空，從而熔煉室壓力可高於槍室壓力1～2個數量級，使得電子束熔煉的材料更廣泛些，某些含氣量較大的材料亦可進行熔煉。這種電子束重熔爐電子束射出的方位和它的密度可以按熔煉時的需要進行調節，熔煉時，電子束可以分成若干股，分別射到料棒、金屬液面或重熔錠金屬熔池表面的不同部位。這種電子束熔煉爐廣泛用於工業生產中。為了增大爐子容量和實現不同熔煉目的，還經常採取多支軸向槍聯合使用的方案。

主要有熔化功率、熔化速度、比電能、真空度和漏氣速率等，如熔煉次數、自耗電極與坩堝直徑比、冷卻速率及鑄錠冷卻制度等也須注意合理選擇。在諸參數中，熔化功率、熔化速度及比電能是影響鑄錠質量最重要的因素。在整個熔煉過程中，這3個參數的控制應有所變化。熔煉初期，真空度比較低，爐料及坩堝都處在常溫下，熔池尚未形成，熔化功率應低一些，熔速應慢一些；熔化末期，為了消除鑄錠頂部縮孔，熔化功率及熔速必須有一個逐步下降的過程，以完成補材料的平均比熱容，補縮時間的長短與鑄錠的大小及熔化金有關；而在熔煉中間大部分的正常熔化期內，熔化功率及熔速應保持穩定。

某規格鑄錠在熔煉時所需的電子束功際生產中，常用圖解法來求電子束熔化功率。由圖4可率稱為熔化功率～(kW)或熔煉功率，它與熔煉的金以看出，熔化功率與材質有關；同一材質時，與鑄錠直屬品種、坩堝直徑和熔化速度有關，一般可由下式確徑的平方成正比；而當同一功率時，則鑄錠直徑的自然定：對數與金屬材料的熔點成反比。

N=(K1+K2)V(4.187/60)(c△T+L)

式中N為熔化功率，kw；V為熔化速度，kg／min；c為平均比熱容，J／g•K；L為材料的熔化潛熱，J／g。K1為工藝係數，K2為電子束散射係數，與散射電子及二次發射電子因素有關。在計算時K1+K2一般取1.5～1.7。實際生產中，常用圖解法來求電子束熔化功率。由圖4可以看出，熔化功率與材質有關；同一材質時，與鑄錠直徑的平方成正比；而當同一功率時，則鑄錠直徑的自然對數與金屬材料的熔點成反比。

單位時間內熔化原料的重量，簡稱熔速。它與金屬的提純要求程度有關。熔速通過進料速度得以控制。一般說來，在採用多次熔煉時，金屬的提純主要應放在一次熔煉上，所以，一次熔煉時熔速要小。