二次離子質譜（secondary ion mass spectroscopy），是一種非常靈敏的表面成份精密分析儀器，它是通過高能量的一次離子束轟擊樣品表面，使樣品表面的分析吸收能量而從表面發生濺射產生二次粒子，通過質量分析器收集、分析這些二次離子，就可以得到關於樣品表面信息的圖譜。
原理
二次離子質譜
用一次離子束轟擊表面，將樣品表面的
原子濺射出來成為帶電的離子，然後飛行時間或者磁偏轉
質譜儀分析離子的荷/質比，便可知道表面的成份；
它是一種非常靈敏的 表面成份分析手段，對某些元素可達到ppm量級；但由於各種元素的二次離子差額值相差非常大，作
定量分析非常困難。
二次離子質譜儀，是最前沿的
表面分析技術。二次離子質譜儀揭示了真正表面和近表面原子層的化學組成，其信息量也遠遠超過了簡單的元素分析，可以用於鑒定有機成分的分子結構。二次離子質譜儀廣泛應用於微電子技術、化學技術、
納米技術以及生命科學之中，它可以在數秒內對錶面的局部區域進行掃描和分析，生成一個表面成分圖。