R14

用作超低溫製冷劑等的物質

超低溫製冷劑R14。R-14製冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等，中文名稱四氟化碳、全氟化碳，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14屬於fc類物質——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應；目前對於R14製冷劑的生產、銷售以及在新製冷設備上的初裝、售後設備上的再添加均沒有限制。

1主要用途: 2理化性質: 3包裝運輸:

4質量標準:

主要用途:

r14 鋼瓶

R-14作為一款特種超低溫製冷劑，主要應用於要求溫度非常低的深冷設備中（包括科研製冷、醫用製冷等），R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。

四氟化碳（四氟甲烷）是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用於硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

理化性質:

（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦稱四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。

相對分子量：88.00。

在常溫下，四氟甲烷是無色、無臭、不燃，不溶於水的可壓縮性氣體。

沸點：-128℃，熔點：-183.6℃。

液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74Mpa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數（25℃，0.5Mpa）1.0006。揮發性較高，是最穩定的有機化合物之一，在900攝氏度時，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶於水，在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時，會分解產生有毒氟化物，危險性類別為第2.2類不燃氣體。

包裝運輸:

四氟甲烷對金屬、合金不腐蝕，可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運，充瓶壓力通常低於12.5Mpa，按壓縮氣體運輸，鋼瓶每五年檢驗一次，國外規定可用汽車、火車、輪船和飛機運輸，國內目前無規定。鋼瓶包裝（14MPa）（DOT-3AAGB-5099)，閥門（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。

質量標準:

產品質量標準（QUALITY STANDARD FOR CF4）

指標名稱	高純級	優級品	一級品
含量，%（v/v） ≥	99.99	99.9	99
氮氣，%（v/v） ≤	0.002	0.03	0.3
氧氣，%（v/v） ≤	0.0005	0.01	0.1
水份，ppm ≤	5	5	10
二氧化碳，ppm ≤	5	10	800
氟化碳，ppm ≤	15	20	-
酸度，（HF）ppm ≤	0.1	1	-
六氟化硫，ppm ≤	-	-	600

R14

用作超低溫製冷劑等的物質

主要用途:

理化性質:

包裝運輸:

質量標準:

基本信息