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王文武
中國科學院大學集成電路學院副院長
王文武,現任中國科學院大學集成電路學院副院長。
1992-1997年:蘭州大學,本科學習;
1997-1998年:中國空間技術研究院第510研究所;
1998-2003年:蘭州大學,獲得理學博士學位;
2003-2006年:日本東京大學,獲得工學博士學位;
2006-2008年:日本半導體MIRAI項目;
現任中國科學院大學集成電路學院副院長。
納米尺度CMOS器件與工藝技術
1.2007年獲得日本半導體MIRAI項目優秀獎,獲獎項目:“Mechanism and control for the anomalous threshold voltage variation in metal/high-k gate stack”,本人排序:2;
2.2008年獲得日本半導體MIRAI項目最優秀獎,獲獎項目:“Clarification and quantification of interfacial dipole effect in high-k gate stack”,本人排序:9。
申請發明專利30餘項,其中美國專利2項,日本專利2項,國內專利30餘項。
承擔科研項目情況:
1.國家02科技重大專項項目:“22納米關鍵工藝技術先導研究與平台建設”(批准號:2009ZX02035),子課題負責人,在研;
2.國家自然科學基金重點項目:“鉿基金屬氧化物高k柵介質的基礎研究” (批准號:50932001),子課題負責人,在研;
4.中科院微電子研究所所長基金:“高k/金屬柵集成與閾值電壓控制技術” (批准號:08SF041001),課題負責人,在研。