納米晶硅

和非晶硅的區別在於，納米晶硅具有小的無定形態的硅晶粒。相比之下，多晶硅完全由晶界相隔的硅晶體顆粒構成。納米晶硅有時也被稱為微晶硅(µc-Si)。差別只在於晶粒的顆粒大小。大部分顆粒大小在微米量級的材料實際上是精細顆粒多晶硅，所以納米晶硅是一個更好的詞。