聲表面波感測器

根據目前對聲表面波器件的研究結果，用聲表面波器件可以做成測量機械應變、應力、微小位移、作用力以及溫度等參數的感測器。

當採用石英作為基地材料時，其輸出頻率穩定度極高，重複性和可靠性好。由於採用半導體集成工藝製造，故可以製成微結構，重量輕，又因為其輸出頻率信號，所以抗干擾能力強，便於實現數值控制。

聲表面波器件是由電壓材料基片和沉澱在基片上不同功能的叉指換能器組成。基片材料有壓電單晶、有壓電薄膜和壓電陶瓷三大類。叉指換能器是金屬電極，其形狀如手指交叉，故稱叉指換能器。聲表面波感測器的一個關鍵器件是聲表面波振蕩器，而在甚高頻和超高頻段能實現高Q值的唯一器件是聲表面波諧振型振蕩器。

1.可直接輸出數字量，而無需A/D轉換裝置，由於數字計算機、數字測控系統和數字通信系統的發展，要求感測器直接輸出數字量已成為一種趨勢。

2.高精度、高靈敏度和高解析度，因為他是我感受到的信息量轉化成電信息頻率的測量。而測量頻率的精度很高，且抗干擾能力強。

3.體積小、功耗低、重量輕。