張衛

張衛，男，1968年5月出生，教授、博士生導師，教育部長江特聘教授，復旦大學微電子學院副院長。主要從事集成電路工藝、半導體器件和半導體材料的研究。自1997年以來承擔863、國家自然科學基金、國家重大專項、上海市重大重點項目等20多項，在集成電路先導工藝技術、半導體器件和半導體材料等方面開展了系統研究，並取得很多創新性成果，比如先進銅互連技術、新型阻變存儲器和半浮柵器件等。自1992年以來在Science，Scientific Report, Applied Physics Letters，IEEE Electron Device Letters，IEEE Tran. on Electron Devices, Journal of Applied Physics等國際學術期刊和會議上發表論文200多篇，申請專利180多項，其中美國專利39項。

2013年4月起任復旦大學微電子學院副院長

2008年7月-2008年8月，德國萊布尼茨-漢諾威大學訪問學者(洪堡短期訪問學者)

2007年6月-2013年4月，復旦大學微電子學系系主任

1999年5月－今，復旦大學微電子學系教授

2001年2月－2002年5月，德國開姆尼茨技術大學訪問學者（洪堡基金）

1997年5月－1999年4月，復旦大學電子工程系副教授

1995年6月－1997年4月，復旦大學電子工程系博士后

1991年9月－1995年5月，西安交通大學電氣工程系博士研究生

1988年9月－1991年6月，西安交通大學電氣工程系碩士研究生

1984年9月－1988年7月，西安交通大學電氣工程系本科生

自1995年以來主持和參加了“863”高技術項目、國家自然科學基金、教育部博士點基金、教育部骨幹教師資助計劃等10個項目的研究工作。

1999年5月擔任第1屆亞洲化學氣相澱積國際學術會議主席，是2001年5月在韓國舉行的第2屆亞洲化學氣相澱積國際學術會議顧問委員會成員，2000年擔任國際學術期刊Thin Solid Films（Elsevier出版）的Guest Editor。自1997年以來是科學通報，Chinese Physics Letters, 電子學報，Thin Solid Films等期刊的審稿人。

1999年獲得上海市高校優秀青年教師稱號，上海市優秀博士后和復旦大學復華獎等。

自1991年以來發表學術論文121篇，其中包括SCI和EI收錄論文60餘篇，出版著作1部（第2作者），2002年獲得國家發明專利1項。

主要研究方向亞100納米器件先進高k柵介質；ULSI中低介電常數介質和銅互連；微電子材料與工藝，薄膜技術，半導體器件；原子層化學氣相澱積（ALCVD）；低壓氣相生長金剛石薄膜；

1.“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”國家重大專項總體專家組專家

2.《半導體學報》副主編

3.中國電子科技產業信息集團科學技術委員會專家委員

4.中國集成電路封測產業鏈技術創新聯盟理事

5.中國集成電路材料產業技術創新戰略聯盟理事

6.復旦大學校學術委員會副主任、工程技術學部組長

7.上海市電子學會副理事長

8.上海華虹宏力半導體製造公司院士工作站駐站專家

9.信息功能材料國家重點實驗室學術委員會委員

10.專用集成電路與系統國家重點實驗室學術委員會委員

11.“長三角集成電路設計與製造協同創新中心”常務副主任

12.射頻電路與系統教育部重點實驗室學術委員會委員

13.浙江省先進微納電子器件智能系統及應用重點實驗室學術委員會委員

14.上海市戰略性新興產業科技創新推進專家委員會專家

1.1999年上海市優秀博士后

2.1999年上海市高校優秀青年教師

3.2000年國務院政府特殊津貼獲得者

4.2002年教育部自然科學二等獎

5.2004年教育部新世紀優秀人才

6.2012年北京市科技進步一等獎

7.2013年教育部創新團隊帶頭人

8.2014年上海市優秀學科帶頭人

9.2014年教育部長江學者特聘教授

10.2014年上海市技術發明二等獎

11.2016年中國電子學會科學技術獎一等獎

12.2016年上海市科技進步二等獎

1.《半導體材料》本科生

2.《微電子材料與工藝理論》 研究生

3.《分子電子學》研究生

4.《納米電子學與信息技術》研究生