由
束流產生裝置、束流加速裝置、束流引出和
輻射場形成裝置以及控制及其他輻射裝置組成。
電子加速器輻照裝置按
加速原理主要分為直流高壓型和高頻
諧振型兩大類。
(1) 直流高壓型電子加速器輻照裝置產生的束流是連續束流，常用的有：電子簾型、絕緣芯
變壓器型、中頻諧振變壓器型、高壓倍加器型、高頻高壓型、電子靜電型和
三相變壓器型。直流高壓型電子加速器輻照裝置的工作原理是利用
帶電粒子同性相斥、異性相吸，從而使電子可以在
電位場中得到加速而獲得能量，電子的能量由電位場中電位差決定。
(2) 高頻諧振電子加速器輻照裝置產生的束流多為
脈衝束流，常用的有：直線型、單腔脈衝型和單腔多次加速型。高頻諧振型電子加速器輻照裝置工作原理是使電子束流多次通過交變電場區，每次都在同一個
電壓相位到達這個電場區，電子將得到一定的能量增益。最終，電子束流達到預定能量值之後，引出應用。
電子加速器輻照裝置按能量分類
(1) 低能電子
加速器輻照裝置的能量範圍在0.3MeV以下。特點是沒有加速管和掃描裝置、自屏蔽，機型為
電子簾加速器。主要用於塗層固化，薄膜和片材的輻射加工等。
(2) 中能電子加速器輻照裝置的能量範圍在0.3MeV至5MeV之間。特點是主機為圓柱形掃描加速器。主要機型有地那米（高頻高壓）型、絕緣芯變壓器型、
中頻變壓器型、高頻單腔脈衝型等加速器裝置。主要用於電線電纜、
發泡材料、熱縮材料、
橡膠等
輻照加工。
(3) 高能電子加速器輻照裝置的能量範圍在5MeV至10MeV之間。特點是掃描型加速器，電子束流可以轉換為
X射線。主要機型有輻照用電子直線加速器裝置、花瓣型電子加速器裝置及5MeV以上地那米加速器裝置。主要用於醫療用
輻射消毒、食品保鮮、原材殺蟲、複合材料輻射固化等。