平面度測量

計量技術誤差測量。線組，線測量尺、准、准、適測量誤差。測量，測若干截直線度，再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計演演算法進行數據處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板塗色法測量平面誤差的。光波干涉法常利用平晶進行，圖為測量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的，而且間距相等，只在周邊上稍有彎曲。這說明被檢驗表面是平的，但與光學平晶不平行，而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗表面是球形的，平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍，表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗表面是球形表面。將條紋數目乘以所用光束波長的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中d的干涉條紋成橢圓形排列，說明被檢驗表面是桶形的。可以把干涉圖案作為被檢驗表面的等高線，因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測量高光潔表面，測量面積也較小，但測量精確度很高。