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UHP

超高純工業系統

超高純工業系統(UltraHighPureindustry)是一種對於流質純度和雜質種類具有嚴格限制的工業系統。

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正文


該系統的特徵在於,流質的純度一般在99.99%以上,操作環境潔凈度要求極高,同時,流質內雜質種類不得多於4種。
該系統主要應用在半導體、電子、航天和製藥產業中。