電子特氣

電子特氣用於薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由於半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。目前國內的超高純度凈化技術主要依賴進口，自身的技術水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，並將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產品缺陷，提高製程的產量，滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。本項目將形成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技術，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。