雙蒸水

蒸餾水：通過蒸餾冷凝製得的水，所以裡面的無機鹽會含的很少。如果只是經過一次蒸餾得到的水，裡面雖然那些不揮發的組分（鹽類）被除去，但水中揮發的組分（氨、二氧化碳、有機物）還是會進入蒸餾水中。

雙蒸水：兩次蒸餾

三蒸水：三次蒸餾

超純水: 超純水又稱高純水，是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水。超純水的含鹽量在0. 1mg/L以下，電導率小於0. 1μs/cm。常見純化儀器:NANOpure或Milli-Q

去離子水: 應用離子交換樹脂去除水中的 陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。從自來水到去離子水一般要經過幾步處理。先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質, 再分別依次通過陰陽離子交換柱去除離子, 然後加壓通過反滲透膜, 最後一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物，假如此時電阻率還沒有達到要求的話, 可以再進行一次離子交換和反滲透過程. 而蒸餾水只是先氣化再冷凝, 純度一般不如去離子水, 實際半導體工業中用的大多數是去離子水.

無菌水: 通常是通過高溫蒸汽法,UHT熱法，化學法，臭氧方法和物理過濾法將水中微生物殺死或過濾掉而得到的水，水中的無機鹽等一般來說不會減少.