國家真空儀器裝置工程技術研究中心
國家真空儀器裝置工程技術研究中心
國家真空儀器裝置工程技術研究中心（前身：遼寧省精密儀器工程中心）成立於1998年，依託於瀋陽中科儀技術發展有限責任公司（中科院瀋陽科學儀器研製中心）。
國家真空儀器裝置工程技術研究中心依託：中國科學院瀋陽科學儀器研製中心有限公司
國家真空儀器裝置工程技術研究中心（前身：遼寧省精密儀器工程中心）成立於1998年，依託於瀋陽中科儀技術發展有限責任公司（中科院瀋陽科學儀器研製中心）。工程中心座落在瀋陽市高新技術產業開發區。
國家真空儀器裝置工程技術研究中心佔地面積3.3萬平方米，擁有7000餘萬元資產，中心設五個事業部，員工230人，副高職以上科技術人員60人。工程中心主要以超高真空技術為基礎，研製生產高級科學儀器及真空設備，其技術性能國內領先，部分產品超過國外同類產品水平，且擁有自主知識產權。
國家真空儀器裝置工程技術研究中心先後參加了北京正負電子對撞機、合肥國家同步輻射裝置、蘭州重離子加速器等國家重大科學工程項目的研製。承擔並完成了國家重點科技攻關項目“金屬有機源分子束外延設備”和“非晶硅太陽能電池製備設備”的研製工作，為國內外科研單位、高等院校和工業企業提供了1500多台套高檔科學儀器和真空裝置，並出口到日本、韓國、朝鮮、新加坡、香港、台灣等國家和地區。工程中心共獲得國家、院、省部級科技進步獎56項，國家級新產品34項。是我國高檔科學儀器設備與真空裝置的重要研究生產基地 主要產品為表面分析儀器（分子束外延設備、能譜儀）、薄膜製備設備（CVD、PECVD、磁控濺設鍍膜設備）、微粉及納米材料製備設備、煙草捲煙檢測儀器、各類真空器件（泵、閥、電極、焊接波紋管等）。