集成電路線寬

集成電路線寬

集成電路線寬指由特定工藝決定的所能光刻的最小尺寸,一般等於溝道的最小寬度。

定義


集成電路的線寬通常可理解為所加工的電路圖形中最小線條寬度,但在MOS電路中,人們也常柵極長度來定義線寬。集成度與線寬有對應關係,即集成度越高,線寬越小,所以,線寬也常用來表示集成電路制度技術水平的高低。現在,世界上生產集成電路的主流產品線寬為0.25微米。滿足0.25微米線寬要求的硅拋光片,可用於批量生產64M 集成電路,也可用於試製256M集成電路樣片。

集成度


集成電路的集成度是指單塊晶元上所容納的元件數目。集成度越高,所容納的元件數目越多。如目前已批量生產的64M集成電路,集成度為64M,粗略地講,這種單塊晶元上集成有6000萬個元件。
目前,世界上做先進的集成電路線寬已降到0.13微米,即130納米!集成電路發展的極限是指電子計算機集成電路的電路線寬細到0.01微米。按照現在集成電路的概念,1納米(0.001微米)的工藝是難以實現的,因為這時量子效應已經呈現出來,器件已經不能按原來的機理來正常工作了。在1納米尺寸時,只有利用量子效應、採用所謂量子電子器件來構成電路。那將使集成電路更上一個新的台階,世界也將會大放光彩。

發展前景


我國大力扶持集成電路產業。根據財稅[2012]27號文,對集成電路線寬小於0.8微米(含)的集成電路生產企業,經認定后,在2017年12月31日前自獲利年度起計算優惠期,第一年至第二年免征企業所得稅,第三年至第五年按照25%的法定稅率減半徵收企業所得稅,並享受至期滿為止。集成電路線寬小於0.25微米或投資額超過80億元的集成電路生產企業,經認定后,減按15%的稅率徵收企業所得稅,其中經營期在15年以上的,在2017年12月31日前自獲利年度起計算優惠期,第一年至第五年免征企業所得稅,第六年至第十年按照25%的法定稅率減半徵收企業所得稅,並享受至期滿為止。