電子顯微分析

章曉中，牛津大學材料系博士（1989年，國家公費生）。The Royal Institution of Great Britain博士后研究員（1989-1992）。新加坡國立大學物理系研究員、講師、高級講師（1992-1999年），1999年起任清華大學材料系教授（博導），現任清華大學電鏡室主任、先進材料教育部重點實驗室副主任、全國納米技術標委會副主任委員、中國分析測試協會諮詢委員會委員、全國微束分析標委會委員。主要研究興趣：納米材料與納米結構、磁阻與超導材料、電子顯微學，計算材料學，發表SCI論文100多篇。

第1章電子光學基礎

1.1解析度

1.2磁透鏡的聚焦原理

1.2.1電子在均勻磁場中的運動

1.2.2短磁透鏡

1.2.3磁透鏡的設計

1.3電子光學作圖成像法

1.4電子透鏡的像差

1.4.1球差

1.4.2畸變

1.4.3像散

1.4.4色差

1.5磁透鏡的理論解析度

第2章透射電子顯微鏡

2.1透射電子顯微鏡發展簡史

2.2透射電子顯微鏡的基本結構

2.3照明系統

2.3.1電子槍

2.3.2照明系統和偏轉系統

2.4成像系統

2.4.1透射電鏡的成像原理

2.4.2物鏡

2.4.3中間鏡和投影鏡

2.5像的觀察與記錄系統

2.5.1熒光屏

2.5.2照相底片

2.5.3視頻攝像機

2.5.4慢掃描CCD照相機

2.5.5成像板

2.6試樣台和試樣架

2.7透射電鏡的真空系統

2.8透射電鏡的電子部分和其他部分

2.9電子顯微鏡的合軸調整

2.9.1照明系統的合軸與消像散

2.9.2成像系統的合軸與消像散

2.9.3物鏡聚焦的調整

2.10透射電鏡的樣品製備

2.10.1粉末樣品的製備

2.10.2薄膜樣品的製備

2.10.3超薄切片法

2.10.4復型

2.10.5界面試樣的製備

2.10.6聚焦離子束方法

2.10.7真空蒸塗方法

2.10.8試樣的保存和觀察時的注意事項

第3章電子與物質的相互作用

3.1電子的彈性散射

3.2電子的非彈性散射

3.2.1特徵X射線

3.2.2二次電子

3.2.3背散射電子

3.2.4俄歇電子

3.2.5陰極熒光

3.2.6透射電子

3.2.7等離子體激發

3.2.8聲子激發

3.3輻照損傷

第4章電子衍射

第5章複雜電子衍射譜

第6章透射顯微術電子像襯度原理

第7章掃描電子顯微鏡

第8章電子探針顯微分析儀和微分析

第9章其他顯微分析方法

實驗

附錄

參考文獻