拋光墊

按否含磨料磨料拋墊磨料拋墊；按材質聚氨酯拋墊、紡布拋墊複合型拋墊；按構致型、網型螺旋線型。

①拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區域；

②拋化反充；反、碎屑順排，達除效；

③維持拋光墊表面的拋光液薄膜，以便化學反應充分進行；

④保持拋光過程的平穩、表面不變形，以便獲得較好的晶片表面形貌。

①硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力；

②壓縮比-壓縮比反應拋光墊的抗變形能力；

③涵養量-拋光墊的涵養量是單位體積的拋光墊存儲拋光液的質量；

④粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度；

⑤密度-密度是拋光墊材料的緻密程度。