激光功率計
激光功率計
激光功率計是用來測試連續激光的功率或者脈衝激光在某一段時間的平均功率的儀器。
常用到激光能量計，用來探測重複脈衝激光的單發能量和單脈衝激光的能量。Ophir 的熱電堆型激光功率計通過熱電堆結構將光能轉換成熱量，再轉換為電信號輸出，通過校準來精確測量激光功率的大小。激光功率計一般由探頭和顯示設備組成，激光功率計探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型（thermal）、光電二極體型（PD:Photodiode）、以及包含兩種感測器的綜合探頭（RP），激光能量計則有熱釋電感測器(PE:Pyroelectric)和熱電堆（Thermal）感測器探頭。
典型的生產廠商有加拿大Gentec-EO和以色列Ophir, 其中Ophir功率和能量探頭有一百多種。探頭選擇取決於測量的類型及待測激光的參數，比如激光連續or 脈衝？激光功率or 能量範圍？光束口徑？波長（範圍）。沒有一款探頭能適應所有的激光測試條件。主要有顯示設備用來顯示測量結果，有不同功能的表頭，或電腦連接器。光電二極體激光能量感測器的靈敏度較高，能探測的最小能量達到10Pj, 熱釋電激光能量感測器一般有金屬型和損傷閾值較高的BF型。由於種類較多，一般可以通過廠商提供的篩選選軟體來選擇使用合適的探頭。
| sensor類型 | 備註 | 適用範圍 | ||
| 功率感測器 | 1 | 熱電堆激光功率感測器 | 測功率 | 1/n·mW~ n·Kw |
| 測單脈衝激光能量() | f≤0.2HZ | |||
| 2 | 熱電堆激光功率、位置、光斑大小感測器 | 定中心、光束定位、路徑跟蹤以及功率和單脈衝能量測試 | ||
| 3 | 光電二極體激光功率感測器 | 1pW--n·100mW--3W(filter) | ||
| 能量感測器 | 4 | 熱釋電激光能量感測器 | 耐用性比熱電堆型差，不使用時需移除激光照射 | f≤25KHZ |
熱電堆型激光功率計表面吸收材料種類較多，對應不同的吸收光譜和不同的功率密度損傷閾值。典型的有
表面吸收結構探頭：
-BB寬光譜吸收材料，此寬光譜吸收材料的鍍層損傷域值可達20KW/cm；吸收率大約90%，從紫外到紅外的曲線平滑;
-EX (Excimer lasers) 準分子激光專用吸收材料，對於紫外光有高吸收率，可以承受高能量或高平均功率的準分子激光，同時對10.6um和其他波長也有很好的響應，-EX最大平均功率強度約2KW/cm。
-LP長脈衝吸收材料，對於豪秒量級長脈衝或是連續波激光有很高的損傷域值，在1064nm和10.6μm處做過校準，-LP最大平均功率強度約10KW/cm, -LP1最大平均功率強度約20KW/cm。
體吸收結構探頭：
-P短脈衝式吸收材料，應用於短脈衝激光的探頭，最大平均功率強度50W/cm。對於脈衝激光，吸收材料表面有大約95%吸收率的特殊的ND吸收玻璃。
-HE/-HE1高能量脈衝激光吸收材料，-HE最大平均功率強度500W/cm。對於短脈衝/高平均功率激光都有高的損傷域值。
-HL高能量長脈衝吸收材料，用於脈寬大於2ms的高能量，高平均功率的激光
-PF/-SV 作為-P探頭的擴展，能承受更高的平均功率和平均功率密度，-PF（3KW/cm），-SV（60KW/cm）。