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差分干涉是利用雷達兩次不同位置獲取的同一監測區域的相位，差分干涉得到形變信息。已有研究提出了三種方法進行差分干涉，兩軌法、三軌法和四軌法。

兩軌法是使用兩幅雷達影像和對應地區的外部數字高程模型。首先由兩幅雷達影像形成一個干涉對，生成既包含地表形變信息又包含地形因素的干涉圖，然後根據外部數字高程模型反演地形相位並從干涉相位中予以去除，最後得到僅包含地形形變信息的干涉圖。

三軌法是使用三幅雷達影像數據形成兩個干涉對，一個為地形對，另一個為地形+形變對，共用一幅主影像，從地形+形變干涉相位中扣除地形對中僅反映地面高程信息的相位數據，可得到地表形變相點陣圖。

四軌法則是使用四幅雷達圖像形成兩個干涉對，分別為地形對和地形+形變對，將前者的地形相位按比例關係映射到地形+形變干涉相位中並予以去除，從而得到反映地表位移的相位信息。