壓阻係數

壓阻係數

半導體樣品電阻率ρ的變化(Dρ)與應變e成比例,則電阻率的相對變化與應力成正比:

Dρ/ρ = ps

式中p是常數,稱為壓阻係數(單位是m2/N或者1/Pa);壓阻係數即表徵了壓阻效應的大小。壓阻係數與摻雜類型(n型,還是p型)、摻雜濃度、溫度和晶向有關

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壓阻係數被定義為單位應力作用下電阻率的相對變化。壓阻效應有各向異性特徵,沿不同的方向施加應力和沿不同方向通過電流,其電阻率變化會不相同。譬如:在室溫下測定N型硅時,沿(100)方向加應力,並沿此方向通電流的壓阻係數;而沿(100)方向施加應力,再沿(010)方向通電流時,其壓阻係數。此外,不同半導體材料的壓阻係數也不同,如在與上述N型硅相同條件下測出N型鍺的壓阻係數分別為;。