納米硬度計

主要功能： （1）測試前以及測試后使用光學顯微鏡自動進行檢測； （2）電磁力驅動； （3）電容法測量壓痕深度； （4）用於自動採集數據的軟體包； （5）使用CSEM原子力顯微鏡掃描眼圖像。使用範圍：納米硬度計用於納米量級的載荷和壓痕深度的測量。適用於測量在微電子、汽車、光學以及醫藥等領域廣泛使用的薄膜的硬度和彈性模量。包括： （1）物理氣象沉積（PVD）、化學氣象沉積（CVD）和離子束輔助沉積（IBAD）等方法製備的薄膜和多層膜（2）光阻材料、塗料、油漆以及其它類型的薄膜，應用與光學、微電子、保護和裝飾等方面。

儀器類別： 03050304/儀器儀錶/試驗機 /金屬材料萬能試驗機 /電液伺服萬能試驗機

1.最大位移20μm； 2.位移解析度：0.3μm； 3.最大荷載300mN； 4.力解析度1μm

附件信息：原子力顯微鏡