變壓式吸附

它是根據混合氣體中雜質組分在高壓下具有較大的吸附能力，在低壓下又具有較小的吸附能力，而理想的組分H則無論是高壓或是低壓都具有較小的吸附能力的原理。在高壓下，增加雜質分壓以便將其盡量多的吸附於吸附劑上，從而達到高的產品純度。吸附劑的解吸或再生在低壓下進行，盡量減少吸附劑上雜質的殘餘量，以便於在下個循環再次吸附雜質。

碳分子篩對氮和氧的分離作用主要是基於這兩種氣體在碳分子篩表面的擴散速率不同，較小直徑的氣體（氧氣）擴散較快，較多進入分子篩固相。這樣氣相中就可以得到氮的富集成分。一段時間后，分子篩對氧的吸附達到平衡，根據碳分子篩在不同壓力下對吸附氣體的吸附量不同的特性，降低壓力使碳分子篩解除對氧的吸附，這一過程稱為再生。

變壓吸附空分制氧技術以其能耗低、投資少、規模靈活和自動化程度高等優點在中小規模用氧、對氧濃度要求不高的場合具有明顯的優勢，並逐步成為中小型空分制氧的主要方法。隨著變壓吸附技術的不斷成熟，變壓吸附制氧在裝置規模上正朝大型化、微型化及高純度三個方向發展。