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李艷秋
北京理工大學教授
李艷秋,女,1962年9月出生,畢業於長春光學精密機械學院(現長春理工大學),現任北京理工大學信息學院特聘教授,博士生導師。
主要研究方向為現代光學設計與工藝、光刻技術及光電精密儀器工程,其技術應用領域包括航空航天、信息(半導體製造、探測與跟蹤、微電子技術)和能源領域等。
院校 |
長春光學精密機械學院 |
現任北京理工大學信息學院特聘教授,博士生導師。
研究方向
光學技術與儀器:先進光刻與分辨力增強技術、微納加工及檢測技術,光電技術與精密儀器
科研成果
完成並驗收通過國內外項目13項,成果鑒定一項。負責或參與國家自然基金、863、973等項目。多次國際會議邀請報告或擔任分會主席,與國內外同行具有較好的交流與合作。發明專利22項,光刻模擬軟體版權5項,參編中國電氣工程大典一章(MEMS技術)、篇主編。
微細加工技術期刊編委,中國光學學會、SPIE、微米納米技術學、中國宇航學會光電技術專業委員會會員,自然基金委第十一屆評審專家組成員,國家集成電路裝備及成套工藝重大專項專家,上海微電子裝備有限公司暨國家光刻技術研究中心諮詢專家。