純氮

料空分機組提供的90 Nfi氖氦混合氣，在常壓液氮溫度下經活性炭吸附除氮，可得到大於99.9%的純氖氦混合氣，經氖氦分離器，得到99.90h}的純氖。純氖經氧化銅爐除氫，再經低溫中、高壓吸附除氖可獲得99.999 0h高純氦。純氦用於充氦氣球及高空氣象觀測、深水作業、高真空和宇宙飛船的檢漏。也用於鎂、錯、鐵等金屬焊接以及低溫超導研究等。高純氦主要用於半導體器件的生產。