秦明

東南大學教授

性別:男,出生年月:1967年10月,民族:漢,職稱:教授,博士生導師,學歷:博士,研究方向:MEMS感測器與微系統、MEMS材料與加工工藝等。1998年4月-1999年10月在香港科技大學電子與電機工程系開展博士后研究工作。目前是中國微米納米學會高級會員、中國儀器儀錶學會感測器分會常務理事,中國電子學會敏感技術分會氣濕敏感測技術委員會委員、江蘇省電子學會集成電路分會和感測技術分會秘書長。

人物經歷


1998年4月-1999年10月在香港科技大學電子與電機工程系開展博士后研究工作。
1999年10月後回校工作,目前從事CMOS MEMS感測器與微系統的研究。2004年晉陞教授。2004年獲選“教育部新世紀優秀人才”,2005年列入江蘇省青藍工程學術帶頭人培養計劃。目前是中國微米納米學會高級會員、中國儀器儀錶學會感測器分會常務理事,中國電子學會敏感技術分會氣濕敏感測技術委員會委員、江蘇省電子學會集成電路分會和感測技術分會秘書長。

主講課程


金屬誘導非晶硅橫向晶化技術。

研究方向


MEMS感測器與微系統、MEMS材料與加工工藝、硅半導體場致發射理論與實驗研究等。

主要貢獻


完成國家級科研項目5 項,在Journal of Microelectromechanical Systems,Journal of the Electrochemical Society,Sensors and Actuators; Thin Solid Films等國內外期刊發表論文40餘篇;論文被國內外同行引用40餘次,獲中國發明專利6項。