湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室
湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室
湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室成立於1998年,主要致力於等離子體技術開發與新材料的製備研究,研究方向包括等離子體技術、功能材料製備與性能研究、微細加工與表面改性技術、新型微波反應器設計與應用研究等。是湖北省教育廳、湖北省科技廳和武漢工程大學共建的省級重點實驗室。
成立於1998年,為湖北省教育廳、湖北省科技廳和武漢工程大學共建省級重點實驗室。本實驗室的主要研究方向為等離子體技術及其在材料中的應用。在等離子體技術方面,主要進行多種等離子體裝置的研製,包括微波等離子體化學氣相沉積裝置、微波電子迴旋共振等離子體化學 氣相沉積裝置、射頻等離子體化學氣相沉積裝置、常壓等離子體化學氣相沉積裝置以及微波源的研製工作。在等離子體技術應用方面,主要進行新 材料的製備以及材料表面處理研究,其中以膜材料及納米材料的製備為主,包括金剛石膜的製備,SiO2膜的製備、ZnO膜的製備以及納米碳管的製備研究,同時進行了納米材料等離子體改性、紡織品改性、高聚物改性以及等離子體刻蝕研究。