張衛平

所在院系：微納科學技術研究院

所屬學科：微電子學與固體電子學

1990.8-1994.7年重慶大學機械工程專業本科，1994.8-1997.7重慶大學機械工程專業碩士，2005.4上海交通大學電子科學與技術專業博士，1997.8-1999.8上海交通大學信息存儲研究中心助教，1999.8 -2004.8年上海交通大學微納米科學技術研究院講師，2004.8-2009.12年上海交通大學微納科學技術研究院副教授，2009.12.31起任上海交通大學微納科學技術研究院研究員。

微米納米加工技術國家級重點實驗室副主任，系統設計、集成與測試研究室主任。

研究方向：微機電系統的集成、設計、檢測和控制，目前研究工作主要集中在微慣性、微機器人、MEMS安保技術、微生物晶元等領域。

多年來一直從事微機電系統、精密儀器及其相關技術的研究，先後主持或參與多項國家和省部級課題，研究內容涉及微慣性技術（懸浮轉子微陀螺、固態微陀螺、高G加速度計等）、MEMS安保技術、PCR晶元、微仿生機器人（仿鳥/仿昆撲翼飛行器等）、微減速器、電磁型微馬達、旋轉式微泵、LiGA及准LiGA技術中的微複製工藝、寶鋼螺旋飛剪改造工程、H型鋼軋機動態模擬與模擬、同步輻射生物大分子光束線、XSAF光束線關鍵設備等，其中包括主持的國家863計劃“可用於微衛星及微飛行器的磁懸浮轉子微陀螺的研究”、“一種新的用於信息安全的MEMS強鏈”、“用於信息安全的MEMS強鏈的應用研究”、“基於MEMS強鏈的硬碟物理認證和物理加密技術”，主持的自然科學基金項目“毫米尺度慣性級可控“勢能阱”永磁轉子自穩懸浮新概念MEMS 微陀螺的研究”、“基於MEMS的磁阿基米德反磁勢阱鉗生物微操縱與晶元”，主持的“微氣泡驅動的集成PCR反應器的研究”、“基於MEMS技術的靜電懸浮轉子微陀螺的基礎研究”、“非硅多梁圓盤型高過載自檢型微加速度計研究”、“基於MEMS的振翅飛行機械昆蟲的研究”、“基於MEMS的微慣性器件基礎研究”等省部級或學校支持的研究項目，參與的“微機械懸浮轉子陀螺技術”、“非硅精密機械製造技術”、“先進慣性感測器研究”、“基於MEMS技術的仿生微型飛行機器人的研究”等國家和省部級項目。

主要研究興趣包括：微慣性(微陀螺、微加速度計等)、微流控生化晶元、微仿生機器人、微安全保證等微納光機電技術及其相關的設計、電路控制檢測、微納加工和系統集成和應用。在國內外學術期刊或會議上發表論文100餘篇，申請專利100餘項，授權專利80餘項。

2007年入選上海市人事局“上海人才發展資金”資助計劃，2008年獲上海交通大學SMC優秀青年教師獎，2010年入選教育部新世紀優秀人才支持計劃。獲2008年國家技術發明二等獎，2004年北京市科技進步二等獎，2005年軍隊科技進步二等獎，2005年上海市科技進步三等獎，2006年機械工業科技進步二等獎，2006年高等學校技術發明一等獎，2006年高等學校專利一等獎，2007年上海市技術發明一等獎，2007年第十屆中國專利優秀獎，2008年教育部自然科學二等獎。