拉晶
拉晶
目錄
單晶硅具有準金屬的物理性質,有較弱的導電性,其電導率隨溫度的升高而增加,有顯著的半導電性。超純的單晶硅是本徵半導體。在超純單晶硅中摻入微量的ⅢA族元素,如硼可提高其導電的程度,而形成p型硅半導體;如摻入微量的ⅤA族元素,如磷或砷也可提高導電程度,形成n型硅半導體。
單晶硅的製法通常是先製得多晶硅或無定形硅,然後用直拉法或懸浮區熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅主要用於製作半導體元件。
在直拉法生長硅單晶的過程中,硅單晶生長的成功與否以及質量的高低是由熱場的溫度分佈決定的。溫度分佈合適的熱場,不僅硅單晶生長順利,而且品質較高;如果熱場的溫度分佈不是很合理,生長硅單晶的過程中容易產生各種缺陷,影響質量,情況嚴重的出現變晶現象生長不出來單晶。因此,對單晶爐熱場進行系統的分析,有助於優化晶體生長的工藝流程,提高晶體的成品質量。