鍍膜機

用於材料科學領域的工藝試驗儀器

鍍膜機是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年7月25日啟用。

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1技術指標 2主要功能

技術指標

極限真空：8.0×10-5Pa，基片台尺寸Φ200mm 可鍍空間Φ300mm×H300mm 可鍍空間Φ500mm×H600mm。

主要功能

鍍薄膜。

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