“極限真空”，表示該狀態下，沒有任何物質（包括分子、原子等）存在，這只是理論上才存在的狀態，實際是不可能達到的。
比如，某台抽氣能力很弱的微型真空泵，它經過無限長的時間也只能把密閉容器內的
氣體壓力由常態的100KPa降到95KPa，那麼95KPa就是這台泵的極限真空度，比如成都氣海公司生產的PM950.2。再比如，有一台抽氣能力很強的微型真空泵，它可以把氣壓由100KPa降到10 KPa，那麼10KPa就是這台泵的極限真空度，比如成都氣海公司生產的VCH1028。
極限真空的應用
“極限真空”是
真空泵的一個重要參數，是反應泵抽氣能力的特性值，是與真空泵相關的一個數值，不同的真空泵可以有不同的“極限真空”度。而“理論真空”是理論研究時的一個概念，是排除各種實際因素的影響而提煉出的一種最理想的
真空狀態。
真空容器經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時鍊氣，再經12小時
抽真空，最後一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
