氟硅氧烷是包含所有側基中分子，產品有流體、凝膠、塗層、膠黏劑、密封劑和彈性體，在需要耐燃、耐油和耐烴類溶劑的許多方面得到應用。
氟硅氧烷是包含所有側基中分子間力最低的氟碳基的硅氧烷。他包含了氟碳基和硅氧骨架的獨特柔韌性，但是性質不夠穩定。
常見的氟硅氧烷有：聚（十七氟葵基）甲基硅氧烷，聚（九氟己基）硅氧烷，聚甲基（三氟丙基）硅氧烷，
PDMS，PTFE等。
例如與這樣的材料接觸的
軸承的潤滑劑，用於宇航和氣沉燃料系統的密封盒彈性體。另外的應用包括有機液體、長效油及抗水性的化妝品和其他護膚用配方的
消泡劑。