嚴偉

學習經歷：1996年—2000年，四川大學，學士機械製造及其自動化2001年—2004年，中科院光電技術研究所，碩士，光學工程2004年—2007年，中科院光電技術研究所，博士，信號與信息處理 工作經歷：自2000年7月起，一直在“中科院光電所微電子裝備研究室”工作，從事光刻設備及相關關鍵單元技術研究。

在微電子光刻裝備領域開展多年研究，對微電子裝備相關理論有較為深刻的理解，發表科技論文29篇（SCI6篇）、申請專利29項（授權15項）；曾獲四川省科技進步二等獎和三等獎各一項；2011年入選首屆“中國科學院青年創新促進會”；2010年入選西部之光人才計劃—“聯合學者”；2009年獲光電所創新人才獎，2007年獲中國半導體行業協會半導體創新產品和技術獎；組織編寫了生物晶元檢測儀器醫療器械標準，獲得生物晶元檢測系統分析軟體版權2項。

目前在國家科技重大專項工程項目中的重點工程中擔任主任設計師、儀器專項工程項目主任設計師，正在開展整機測控系統的研製工作。

參加完成中科院知識創新工程交叉學科重大方向性項目—生物晶元儀器研製工作；主持開展自然科學基金項目“適用於雙工件台光刻機的高精度離焦量解耦演演算法研究”，參與完成了863“實現納米分辨力的新型紫外光刻機研製”任務、863“基於DMD的步進投影數字光刻系統”研製任務、自然科學基金“納米光柵掩模提高分辨力的原理和方法研究”；主持了西部之光“精密步進式無掩模數字曝光裝置”、“攜帶型生物晶元檢測系統”、“紫外固化原位光刻機”、“紫外深度曝光系統”、“URE-2000S/A雙面光刻機”等項目的研製工作。

培養研究生信息：在讀碩士研究生3名