高頻放電（high-frequency discharge）是指放電電源頻率在1兆赫以上的氣體放電現象。
放電現象和結果
高頻放電可以產生穩定的大體積的
等離子體，因而是等離子體成膜和
刻蝕技術中最常用的放電形式。通常所用的電源頻率是13.56兆赫，這是因為國際電訊管理局為了防止
高頻電磁波輻射的能量對通信的干擾，對工業用的頻率範圍做了規定，其中包括13.56兆赫這個頻率。但輝光放電的
非線性效應可使放電迴路內出現基頻的許多諧波，仍有影響通信的高次頻波從放電迴路中發射出來，在迴路中這些諧波輻射的能量比基頻波輻射的要小得多。