高純氮
用作器件保護氣等的化學物質
純化方法
氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產中,通常採用黑色鋼瓶盛放氮氣。
式: N2
質:純.%。臭味毒惰。密(.℃,空=).。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
相對分子質量 28.013
熔點 63.15K,-210℃,-346oF
沸點,195.6
臨界溫度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF
臨界壓力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia
臨界體積 90.1cm3/mol
臨界密度 0.3109g/cm3
臨界壓縮係數 0.292
偏心因子 0.040
液體刻密度 ,-180℃時 0.729g/cm3
液體熱膨脹係數 ,-180℃時 0.00753 1/℃
表面張力 ,-210℃時 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm
氣體密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)時 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3
氣體相對密度,101.325 kPa(1atm)和70oF時(空氣=1) 0.967
汽化熱 , 沸點下 202.76kJ/kg,87.19 BTU/1b
熔化熱 , 熔點下 25.7kJ/kg,11.05 BTU/1b
氣體定壓比熱容 cp ,25 ℃時 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)
氣體定容比熱容 cp ,25 ℃時 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)
氣體比熱容比 , cp/cv 1.401
液體比熱容 ,-183℃時 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )
因體比熱容 ,-223℃時 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )
氣體摩爾熵 ,25℃時 191.5 J/(mol·k )
氣體摩爾生成熵 ,25℃時 0 J/(mol·k )
氣體摩爾生成焓 ,25℃時 0 KJ/mol
氣體摩爾吉布斯生成能 ,25℃時 0 KJ/mol
溶解度參數 9.082 (J/cm3 )0.5
液體摩爾體積 34.677 cm3 /mol
在水中的溶解度 ,25℃時 17.28×10 -6(w)
氣體黏度 ,25℃時 175.44×10 -7 Pa·s,175.44μP
液體黏度 ,-150℃時 0.038mPa ·s,0.038 cp
氣體熱導率 ,25℃ 時 0.02475 W/(m · K)
液體熱導率 ,-150℃時 0.0646W/(m · K)
在集成電路、半導體和電真空器件製造中用作保護氣和運載氣,化學氣相澱積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、乾燥、貯存和輸送用氣體。顯像管製造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加註系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。