集成度
集成度
集成電路的線寬通常可理解為所加工的電路圖形中最小線條寬度，但在MOS電路中，人們也常用柵極長度來定義線寬。集成度與線寬有對應關係，即集成度越高，線寬越小，所以，線寬也常用來表示集成電路製造技術水平的高低。
隨著大規模集成電路和超大規模集成電路的發展，人們對光刻解析度的要求愈來愈高。1995年為0.35μm，1998年為0.18μm，現在努力的方向是0.18μm，接著就是0.13μm。很顯然原有的光刻工藝已不能滿足要求，
| 數字集成電路的分類 | ||
| 分類 | 門的個數（集成度） | 典型的集成電路 |
| 小規模 | 最多12個 | 邏輯門、觸發器 |
| 中規模 | 12-99 | 計數器、加法器 |
| 大規模 | 100-9 999 | 小型存儲器、門陣列 |
| 超大規模 | 10 000-99 999 | 大型存儲器、微處理器 |
| 甚大規模 | 100 000以上 | 可編程邏輯器件、多功能專用集成電路 |
一個系統的集成度，是指由系統整體所劃分出的子系統的規模與複合程度。
集成度越高，計算簡單，包含的信息量越少；集成度越低，系統分析計算的模型越複雜，包含的內容也越多，分析更徹底。通常根據需要來選取適當的集成度。