三氯硅烷

1.沸騰氯化法硅粉經乾燥后加入氯化沸騰爐，與通人爐中的乾燥氯化氫氣體在340℃進行反應。生成的粗三氯氫硅經濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅，由蒸餾塔出來的三氯氫硅氣體經冷凝，製得三氯氫硅成品。

2.將硅(97%)填充到石英反應管中，邊通入乾燥氯化氫，邊反應。接受器用冷凍劑冷卻。往氯化鈉中加入濃硫酸產生氯化氫。反應前，將爐加熱，通入乾燥氫氣使系統乾燥，接著加熱到300℃，送入氯化氫使其反應。蒸餾反應產物，首先蒸出的是溶解的氯化氫，接著蒸出產物。殘餘組分為四氯化硅。如有必要，可再次蒸餾進行提純。

健康危害

侵入途徑：吸入、食入。

健康危害：對眼和呼吸道粘膜有強烈刺激作用。高濃度下，引起角膜混濁、呼吸道炎症，甚至肺水腫。並可伴有頭昏、頭痛、乏力、噁心、嘔吐、心慌等癥狀。沾在皮膚上，可引起壞死，潰瘍長期不愈。

毒理學資料及環境行為

急性毒性：LD501030mg/kg(大鼠經口)；LC501500mg/m3，2小時(小鼠吸入)

刺激性：家兔經眼：5mg/m3，引起刺激。對皮膚、粘膜有強烈的刺激和腐蝕作用。

亞急性和慢性毒性：可見卡他性氣管炎、支氣管炎及時期肺硬化表現。

危險特性：遇明火強烈燃燒。受高熱分解產生有毒的氯化物氣體。與氧化劑發生反應，有燃燒危險。極易揮發，在空氣中發煙，遇水或水蒸氣能產生熱和有毒的腐蝕性煙霧。

燃燒(分解)產物：氯化氫、氧化硅。

3.現場應急監測方法:

實驗室監測方法

用色譜-質譜鑒別和[氣相]色譜法測定三氯硅烷和四氯化硅中的含碳雜質[刊，俄]/Glavin G.G.；Srepanov A.I.,Kvin V.E.…//Сб.науч.тр.Н-и.илроект. ин-т.редкомет.лром-сти.Гиредмет.-1986,135.-59～64

環境標準

中國車間衛生標準3mg/m3

用於有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷的合成，是有機硅烷偶聯劑中最基本的單體，也是生產半導體硅、單晶硅的原料，隨著有機硅烷偶聯劑工業的發展而出現供不應求，生產量越來越大。

迅速撤離泄漏污染區人員至安全區，並進行隔離，嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿消防防護服。從上風處進入現場。儘可能切斷泄漏源，防止進入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄漏：用砂土或其它不燃材料吸附或吸收。大量泄漏：構築圍堤或挖坑收容；用泡沫覆蓋，降低蒸氣災害。在專家指導下清除。

呼吸系統防護：空氣中濃度超標時，應該佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩)。緊急事態搶救或撤離時，建議佩戴自給式呼吸器。

眼睛防護：呼吸系統防護中已作防護。

身體防護：穿膠布防毒衣。

手防護：戴橡膠手套。

其它：工作現場禁止吸煙、進食和飲水。工作畢，淋浴更衣。保持良好的衛生習慣。

三、急救措施

皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，用大量流動清水沖洗，至少15分鐘。就醫。

眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫。

吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。

食入：誤服者用水漱口，給飲牛奶或蛋清。就醫。

滅火方法：消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上風處滅火。滅火劑：乾粉、干砂。切忌使用水、泡沫、二氧化碳、酸鹼滅火劑。

符號：GHS02GHS05GHS07

信號詞：危險

危害聲明：H224;H250;H302+H332;H314

附加危害聲明：與水接觸釋放出有毒氣體，遇水反應劇烈。

警示性聲明：P210;P280;P303+P361+P353;P305+P351+P338;P370+P378;P422

包裝等級：I

危險類別：4.3

WGK Germany：1