微流量感測器

Advanced Test Concepts (ATC), Inc. 成功將獨具創新的微流量技術應用於泄漏/密封性測試。ATC擁有微流量感測器的發明專利，它的氣密性檢測儀為泄漏/密封性的測試領域開啟了新的一頁。

智能泄漏測試感測器 (IGLS) 基於一種革新的理念，採用微流量感測器和用空氣來檢測泄漏, IGLS測試方法不同於傳統的測試方法，它基於質量守恆定律, 將補償到被測試樣的氣流也考慮到整個流量的計算中, 在恆定的環境下，流入流量等於泄漏流出的質量。

智能泄漏測試感測器 (IGLS) 是一個基於加速層流(ALF)ATC專利設計且集流量、壓力和溫度測量於一體的微流量感測器. IGLS 是市面上存在的 唯一感測器, 其輸出的流量與在滑移流區 (從真空至高壓的壓力變化) 的體積流量成比例關係，同時也與在平移和分子流動區的質量流量成比例.* IGLS 內置微處理器使其能直接測試泄漏的流量。

ATC的微流量技術開創了泄漏測試的新時代。它具有測試周期短，抗環境溫度干擾強、以及高靈敏度等過去只有使用氦氣的密封性檢測儀才有的優點。ATC微流量感測器的泄漏測試儀不需要和其他泄漏測試儀一樣“每天”在使用前需要校準，而是直接精準地測試得到試驗結果，使測試更簡單、更可靠，用戶更節約時間、更節省人力等其他隱形成本。

ATC的“質量抽取”技術充分考慮氣體微流現象和氣體在真空環境下的膨脹特性。ATC的“質量抽取”技術智能泄漏測試感測器的測試靈敏度與採用昂貴的氦質譜（HMS)的靈敏度相當，最典型是大約5x10-7 sccs。

ATC專利的"自適應測試"功能使從試驗統計數據中"學習"測試經驗，動態驗測被測試樣，這個功能能有效降低單個試樣測試周期，使ATC微流量技術測試儀器成為市場上試驗周期最短的測試方式。

智能泄漏測試感測器 IGLS 是ATC泄漏試驗系統的組成部分, ATC泄漏試驗儀不僅能單獨在試驗平台運行，也能拓展成整套自動化的泄漏測試系統。

ATC能幫助您確定產品的密封性要求，同時能幫助您在我們專業實驗室測量您產品以及標定樣的密封性。ATC是ISO 17025認證的公司擁有美國實驗室認可協會認證的實驗室，證書號為2197-01和2197-02。 ATC分公司分佈於全世界各地為客戶提供更便捷的服務。

*滑移流區、平移和分子流動區是微尺度流體力學專業術語

·氣壓浸水法

·顏色浸染法

·質量流量法

·壓力衰減法（絕對壓力法）

·差動壓力法

·氦氣質譜法

·氦氣聚集流法

·氦氣吸入法

·電壓擊穿法– 主要用於醫藥行業

氣壓浸水法: 應用缺陷

·極度依賴於人為 判斷，缺乏嚴謹性!!

·對被測產品造成物理或者化學損傷，零件必須重新乾燥處理。

·慢，難於確定具體的泄漏值。

·內部腔體間泄漏無法確定。

·適用於大或中型泄漏(小於低壓20 cc/min).

·在很多情況下，極小的氣泡不容易被肉眼察覺.

·如下原因，有泄漏- 但是不產生氣泡:–水的表面張力–水分子可能堵住泄漏–在極小的泄漏情況下氣體分子能融入水中-沒有氣泡產生

傳統的質量流量感測器vs.ATC 微流量科技

·傳統的質量流感測器 (熱線式感測器) 基於溫度變化影響電橋電阻變化的原理 - 完全不同於ATC的智能微流量感測器IGLS.

·儘管測量流量的概念是一樣但是工作原理完全不同·傳統的質量流感測器 (熱線式感測器)主要基於開路式流- 在閉路式流的環境下不穩定.

·傳統的質量流感測器 (熱線式感測器)不適用真空環境.(因為真空是溫度絕緣環境而熱線式感測器是基於溫度的變化）

·傳統的質量流感測器 (熱線式感測器)需要等待溫度穩定，需要很長的測試周期

或者:

·直接增加測量閥值.·能應用於較大泄漏的零件，不適用於微小的泄漏.·環境溫度對傳統的質量流感測器 (熱線式感測器)的影響大.

·傳統的質量流感測器需要過載保護，而ATC的智能微流量感測器IGLS不需要。

絕對壓力法存在的問題

·間接測試方法- 計算泄漏–同批次零件細微容積的差別能影響測試結果（容積和壓力變化速率是直接的關係）–若改變被測零件，操作員必須重新“標定”檢漏儀.

·壓力感測器的解析度不能檢測到細微的壓力衰減.

·環境溫度波動影響測試結果!–需要頻繁的標定來校準（溫度對壓力感測器大，同時溫度與氣體的體積是直接關係）

·真空填充: 因檢查壓力降低，泄漏量被限定，同時受水蒸氣的影響大（不同壓力下水的沸點不同）

差動壓力法存在的問題

·極易受溫度波動影響-必須保證標準工件和被測工件具有相同的溫度

·需要標準工件 -需要同時填充被測工件和標準工件, 也就需要兩倍填充時間

-標準工件:-必須保證標準工件為‘零’泄漏，重複充氣能改變標準工件的容積（膨脹），並且很有可能標準工件已經非‘零’泄漏。標準工件並非真正意義上的‘零’泄漏，可能由於水蒸氣或者蛋白質堵塞，經過物理、化學和生物反應后而成為不合格品

·需要差壓感測器–如果被測工件有大泄漏的話將極易損壞差壓感測器