離子滲氮

離子滲氮 又稱輝光滲氮，是利用輝光放電原理進行的。把金屬工件作為陰極放入通有含氮介質的負壓容器中，通電后介質中的氮氫原子被電離，在陰陽極之間形成等離子區。在等離子區強電場作用下，氮和氫的正離子以高速向工件表面轟擊。離子的高動能轉變為熱能，加熱工件表面至所需溫度。由於離子的轟擊，工件表面產生原子濺射，因而得到凈化，同時由於吸附和擴散作用，氮遂滲入工件表面。

與一般的氣體滲氮相比，離子滲氮的特點是：

①可適當縮短滲氮周期；

②滲氮層脆性小；

③可節約能源和氨的消耗量；

④對不需要滲氮的部分可屏蔽起來，實現局部滲氮；

⑤離子轟擊有凈化表面作用，能去除工件表面鈍化膜，可使不鏽鋼、耐熱鋼工件直接滲氮。

⑥滲層厚度和組織可以控制。離子滲氮發展迅速，已用於機床絲桿、齒輪、模具等工件。