中國科學院瀋陽科學儀器研製中心有限公司
中國科學院瀋陽科學儀器研製中心有限公司
公司以高真空、超高真空、超潔凈真空技術為基礎,主要研製生產大型表面分析儀器、薄膜材料製備設備、納米材料製備設備、半導體材料製備設備、空間環境模擬裝置、真空冶金設備、真空獲得以及高檔真空器件。多年來,公司依靠自身的技術和人才優勢,多次打破發達國家技術封鎖,研製生產了具有自主知識產權的真空儀器裝置2000多台套。
2003年10月,經國家科技部批准,依託本公司組建了國家真空儀器裝置工程技術研究中心。依託瀋陽科儀公司先後組建了“遼寧省精密儀器工程技術研究中心”、“國家分子束外延技術試驗基地”和“國家多功能電子能譜儀生產基地”; 2008年國家發改委批准以瀋陽科儀公司為項目法人單位組建“真空技術裝備國家工程實驗室”。