微電子設備技術研究室

主要的科研方向為：適用於32-22納米技術代新原理裝備研究；極大規模集成電路裝備及工藝研究；利用微細加工和集成技術研究創新型原理裝備；常壓等離子體技術；微納加工技術標準化研究。主要產品有：高密度等離子刻蝕機ICP、反應離子刻蝕機RIE、濺射台、PECVD、射頻電源、勻膠機。這些設備已長期用於微電子、光電子、微機械等領域的各加工廠、高等院校及研究所實驗室。本實驗室分為四個課題組，分別為：等離子新原理裝備課題組、常壓等離子體課題組、射頻電源課題組、微電子設備課題組。