四探針測試儀
半導體材料電阻性能測試的儀器
數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準並參考美國 A.S.T.M 標準
而設計的，專用於測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專
用儀器。儀器由主機、測試台、四探針探頭、計算機等部分組成，測
量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試採集測試數據到
計算機中加以分析，然後以表格，圖形方式統計分析顯示測試結
儀器採用了最新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量範圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用於半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
四探針軟體測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據並對測試數據進行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量並採集測試數據，把採集到的數據在計算機中加以分析，然後把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對採集到的數據在電腦中保存或者列印以備日後參考和查看，還可以把採集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析
測量範圍 電阻率：10-4～105 Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：四探針測試儀
電導率：10-5～104 s/cm；
電阻：10-4～105 Ω；
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試台)；
200mmX200mm(配S-2B型測試台)；
400mmX500mm(配S-2C型測試台)；
恆流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調
數字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量最大相對誤差 (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊介面 並口
標準使用環境 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；
基本信息
- 外文名
- Four-probe Tester