結構型感測器
結構型感測器
結構型感測器是以結構(如形狀、尺寸等)為基礎,利用某些物理規律來感受(敏感)被測量,並將其轉換為電信號實現測量的。例如電容式壓力感測器,必須有按規定參數設計製成的電容式敏感元件,當被測壓力作用在電容式敏感元件的動極板上時,引起電容間隙的變化導致電容值的變化,從而實現對壓力的測量。又比如諧振式壓力感測器,必須設計製作一個合適的感受被測壓力的諧振敏感元件,當被測壓力變化時,改變諧振敏感結構的等效剛度,導致諧振敏感元件的固有頻率發生變化,從而實現對壓力的測量。
基於某種結構的變換的感測器。比如電容壓力感測器。利用物理學中場的定律構成的,包括動力場的運動定律,電磁場的電磁定律等。物理學中的定律一般是以方程式給出的。對於感測器來說,這些方程式也就是許多感測器在工作時的數學模型。這類感測器的特點是感測器的工作原理是以感測器中元件相對位置變化引起場的變化為基礎,而不是以材料特性變化為基礎。
物理型感測器是利用物質定律構成的,如胡克定律、歐姆定律等。物質定律是表示物質某種客觀性質的法則。這種法則,大多數是以物質本身的常數形式給出。這些常數的大小,決定了感測器的主要性能。因此,物理型感測器的性能隨材料的不同而異。例如,光電管就是物理型感測器,它利用了物質法則中的外光電效應。顯然,其特性與塗覆在電極上的材料有著密切的關係。又如,所有半導體感測器,以及所有利用各種環境變化而引起的金屬、半導體、陶瓷、合金等特性能變化的感測器,都屬於物理型感測器。