中國科學院微電子研究所

中國科學院微電子研究所，前身為成立於1958年的原中國科學院109廠。1986年，109廠與中國科學院半導體研究所、計算技術研究所有關研製大規模集成電路部分合併為中國科學院微電子中心。2003年9月，正式更名為中國科學院微電子研究所。

中國科學院微電子研究所是一所專門從事微電子領域研究與開發的國立研究機構，是中國科學院微電子技術的總體和中國科學院EDA中心的依託單位，主要研究方向為：①集成電路先導工藝與儀器裝備技術；②集成電路與系統設計技術；③高性能器件與電路集成技術；④射頻、微波器件與電路集成技術；⑤三維集成與系統封裝技術；⑥新型納米器件與集成技術；⑦物聯網與感測器技術。

截至2014年底，中國科學院微電子研究所設有12個從事應用技術研究的研究室和2個從事前沿基礎研究的重點實驗室；共有在職職工1061人，其中科技人員819人、科技支撐人員203人，研究員及正高級工程技術人員72人、副研究員151人、高級工程技術人員64人；共有在學研究生293人（其中碩士研究生164人，博士研究生125人，留學生4人），有研究生導師117人（其中博士生導師44人，碩士生導師73人）。

1歷史沿革 2科研條件人員編製科研設備

科研部門合作交流 3科研成就科研成果

電子期刊 4人才培養學科建設教學建設

5文化傳統所標所訓 6現任領導

歷史沿革

組織結構

1958年8月，為研製國防專用109計算機，我國第一個半導體器件生產廠成立，命名為“109廠”，隸屬於中國科學院物理研究所。

1960年-1965年，隸屬於中國科學院半導體研究所。

1965年-1967年，隸屬於中國科學院。

1967年-1975年，隸屬於中國人民解放軍第14研究院編製建廠（所）。

1975年-1986年，隸屬於中國科學院。

1986年，109廠與中國科學院半導體研究所、中國科學院計算技術研究所有關研製大規模集成電路部分單位合併，成立中國科學院微電子中心，隸屬於中國科學院至今。

2003年10月16日，為了集中和充足優勢資源，進一步凝練和明確發展方向，拓寬應用研究領域，鞏固創新成果，“中國科學院微電子中心”更名為“中國科學院微電子研究所”。

2018年10月，被評為全國中小學生研學實踐教育基地。

2020年12月，入選“第三批雙創示範基地”。

科研條件

人員編製

截至2014年底，中國科學院微電子研究所共有在職職工1061人。其中科技人員819人、科技支撐人員203人，包括中國科學院院士1人、研究員及正高級工程技術人員72人、副研究員151人、高級工程技術人員64人。共有國家入選者11人，中國科學院“百人計劃”入選者20人，國家傑出青年科學基金獲得者2人。

中國科學院院士：劉明

中國科學院“百人計劃”入選者（名單不全）：曹立強、陳傑、陳曙東、樊曉華、霍宗亮、賈銳、金智、梁利平、劉洪剛、劉昱、閻躍鵬、殷華湘、於大全

國家傑出青年科學基金獲得者：陳傑、劉明

科研設備

為了加強技術支撐系統建設，中國科學院微電子研究所在2009年籌建並成立了了中國科學院微電子所公共技術服務中心。據2016年1月研究所官網顯示，該研究所共開放各類大型設備共計104台，價值共計89064026.58元。

部分儀器概覽
序號	所屬實驗室	儀器名稱	儀器型號	圖片說明
1	一室	靜態參數功率器件測試系統	TESEC 3620-TT	中國科學院微電子研究所
2	一室	動態參數測試系統	TESEC 3430-SW	中國科學院微電子研究所
3	一室	熱阻測試系統	TESEC 9424-KT	中國科學院微電子研究所
4	三室	電子束光刻系統	JEOL JBX- 6300FS	中國科學院微電子研究所
5	三室	Pattern Generator圖形發生器	GCA 3600F	中國科學院微電子研究所
6	三室	Photorepeater 分步重複精縮機	GCA 3696	中國科學院微電子研究所
7	四室	探針台	SUSS PA200	中國科學院微電子研究所
8	四室	冷水機	GW511C	中國科學院微電子研究所
9	八室	等離子增強化學氣相沉積系統	HQ-2	中國科學院微電子研究所
10	八室	等離子體浸沒式離子注入機	PIII-ICP08A	中國科學院微電子研究所
11	八室	紫外光刻機	URE-2000/A	中國科學院微電子研究所

科研部門

中國科學院微電子研究所是國家集成電路製造領域前瞻性先導技術研發的牽頭組織單位，是中國科學院物聯網研究發展中心、中國科學院EDA中心等院級創新平台的依託單位。截至2014年底，該所設有12個從事應用技術研究的研究室和2個從事前沿基礎研究的所級重點實驗室。

所級應用技術研究的研究室：硅器件與集成技術研發中心（一室）、專用集成電路與系統研究室（二室）、納米加工與新器件集成技術研究室（三室）、微波器件與集成電路研究室（四室）、通信與多媒體SoC研究室（五室）、電子系統總體技術研究室（六室）、電子設計平台與共性技術研究室（七室）、微電子設備技術研究室（八室）、系統封裝技術研究室（九室）、集成電路先導工藝研發中心（十室）、射頻集成電路研究室（十一室）、中科新芯三維存儲器聯合研發中心（十二室）

所級前沿基礎研究的實驗室：微電子器件與集成技術重點實驗室、低功耗集成電路重點實驗室

合作交流

2014年，該所共接待來訪、順訪和台胞來訪合20批49人次；因公出訪72批合120人次；聘任國外名譽和客座研究員2人；新增投資企業6家；累計合作共建分所、分部、對外投資成立公司、共建聯合實驗室以及院級平台等各類機構共70家。通過產業引導，形成了以北京為中心、江蘇為龍頭，遍布遼寧、天津、浙江、廣東、山東等地區的院地合作與產業化整體布局。

科研成就

科研成果

2010年，中國科學院微電子研究所共有在研項目265項（包括新增項目110項）。其中，國家重點基礎研究發展計劃（973）項目2項（新增2項）、課題18項（新增7項），中國高技術研究發展計劃（863）項目16項（新增4項）；國家自然科學基金重大項目1項、重點項目1項、面上項目13項（新增8項）；重要方向項目16項（新增13項），國際合作項目1項，重大儀器研製項目2項；院地合作項目1項。獲專利受理527項，其中發明專利515項，實用新型12項；獲專利授權107項，其中發明專利93項，實用新型14項。共發表期刊論文139篇，會議論文65篇，影響因子總數133.482。共發表譯著1部，專著1部。

2011年，該研究所共有在研項目358項（新增項目89項）。其中，國家重點基礎研究發展計劃（973）項目2項、課題26項（新增7項），中國高技術研究發展計劃（863）項目22項（新增3項）；國家自然科學基金重大項目1項、重點項目3項、面上項目6項（新增3項）；重要方向項目16項（新增2項），國際合作項目1項，院地合作項目7項。攻獲專利受理1048項，其中發明專利994項，實用新型48項，外觀設計專利6項；獲專利授權117項，其中發明專利101項，實用新型15項，外觀設計專利1項。共發表論文266篇，其中SCI收錄87篇，EI收錄92篇，影響因子總數192.3558。共發表專著2部。

2012年，該研究所共有在研項目360 項（新增項目133項）。其中，國家科技重大專項課題82項（新增10項），國家重點基礎研究發展計劃（973）項目2項、課題22項（新增8項），國家高技術研究發展計劃（863）項目7項（新增4項）；國家自然科學基金重大項目1項、創新群體1個，重點項目4項、面上項目14項（新增7項）；中國科學院戰略性先導科技專項課題5項，院重要方向項目9項（新增5項），院修購項目7項（新增4項），院地合作項目8項（新增1項）。專利受理874項，其中發明專利834項，實用新型40項；專利授權165項，其中發明專利141項，實用新型22項，外觀設計專利2項；專利實施許可1項。共發表論文262篇，其中SCI收錄89篇，EI收錄84篇，影響因子總數220.1285。出版專著2部。

2013年，該研究所共有在研項目324 項（新增項目91項）。其中，國家科技重大專項課題67項（新增12項），國家重點基礎研究發展計劃（973計劃）首席項目2項、課題17項，國家高技術研究發展計劃（863計劃）課題9項（新增2項）；國家自然科學基金創新群體1項、重點項目5項、面上項目14項（新增7項）；院戰略性先導科技專項項目1項，院重點部署項目1項，院其他項目9項。共申請專利469項，其中國內發明專利387項，實用新型17項，PCT申請65項；授權專利共383項，其中美國專利59項，國內專利324項。此外，在微電子學、半導體材料、納米材料、固體力學、電子與通信、太陽能等領域發表各類論文共191篇，其中SCI收錄79篇，EI收錄55篇；登記軟體著作權11項，集成電路布圖設計11項。

2014年，該研究所共有在研項目334 項（新增項目77項）。其中，國家科技重大專項課題65項（新增5項），國家重點基礎研究發展計劃（973計劃）首席項目2項、課題8項，國家高技術研究發展計劃（863計劃）課題11項（新增2項）；國家自然科學基金創新群體1項、重點項目12項、面上項目49項；院戰略性先導科技專項項目2項，院重點部署項目2項；其他項目10項。其中“極大規模集成電路關鍵技術集體”獲2014年度中國科學院傑出科技成就獎。共申請專利435項，其中國內發明專利422項，實用新型13項，PCT申請29項；授權專利共363項，其中國外專利91項，國內專利272項。在微電子學、半導體材料、納米材料、固體力學、電子與通信、太陽能等領域發表論文共221篇，其中SCI收錄99篇，EI收錄66篇；專著3篇；登記軟體著作權20項，集成電路布圖設計12項。

氧化物阻變存儲器機理與性能調控項目榮獲2016年自然科學二等獎。

電子期刊

《芯天地》是一本創刊於2007年中國科學院微電子研究所主辦的電子期刊，主要刊載在該所官網，內容主要是中國科學院微電子研究所工作簡況，包括該所近期科研進展、發表論文、研究成果等。

人才培養

學科建設

中國科學院微電子所是國務院學位委員會批准的博士（1996年5月獲批）、碩士學位（1990年11月獲批）授予權單位之一。截至2014年底，一個二級學科博士研究生培養點，一個二級學科碩士研究生培養點，一個碩士專業學位培養點，一個博士專業學位培養點和一個博士后流動站（2004年獲批建立）。

二級學科博士研究生培養點：微電子學與固體電子學

二級學科碩士研究生培養點：微電子學與固體電子學

碩士專業學位培養點：工程碩士（集成電路工程、電子與通信工程領域）

博士專業學位培養點：工程博士（電子與信息工程領域）

一級學科博士后流動站：電子科學與技術

教學建設

截至2014年底，中國科學院微電子研究所共有在學研究生293人（其中碩士研究生164人，博士研究生125人，留學生4人）。

2011年，該研究所商立偉同學的論文《有機薄膜晶體管及其集成電路的研究》、塗德鈺同學的論文《基於交叉結構分子電子器件及其電路研究》獲“2011年度中國科學院優秀博士學位論文獎”；李昊峰同學獲得“中國科學院院長特別獎”，王曉磊和李永亮兩位同學獲得“中國科學院院長優秀獎”。

2014年，該所共錄取學術型碩士39人，專業性碩士15人，工學博士10人，工程博士8人，直博生10人；2015年共錄取學術型碩士39人，專業性碩士16人。

文化傳統

所標

所標

中國科學院微電子研究所所標涉及創意說明：標誌以菱形為主體充分體現出研究所團隊的嚴謹與理性，同時相疊的菱形代表了微電子產品，向右形成的兩個充滿力量的箭頭，表明了研究所在微電子領域中勇於探索、不斷鑽研與開拓的精神。箭頭向細變化，表現了產品向著更細、更精發展的物理特點。標誌中心快速運動的線條，是微電子技術飛速發展的寫照，表現出該所要在不斷發展中求平穩、求創新的精神。

所訓

所宗旨手書

惟精惟一

求實求新

現任領導

所長：葉甜春

黨委書記、副所長：李培金

副所長：周玉梅

副所長：周也方

副所長：陳大鵬

副所長：劉新宇

中國科學院微電子研究所