硅烷中Si-H鍵內的氫原子被烷氧基取代后,稱為烷氧基硅烷,如甲氧基硅烷、乙氧基硅烷、丙氧基硅烷、丁氧基硅烷等。根據不同的取代度,又可分為一烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷、三烷氧基硅烷和四烷氧基硅烷。與水反應,放出相應的脂肪醇,生成相應的縮合物。在鉬催化劑存在下,Si—H鍵可與鏈烯烴發生加成反應。可由不同取代度的氯硅烷與無水脂肪醇反應來製取。用來合成有機硅中間體。
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