王軍波

王軍波，男，漢族，2002年畢業於清華大學，獲工學博士學位，同年到中國科學院電子學研究所感測技術國家重點實驗室北方基地工作至今，2004年任副研究員，2008年任實驗室副主任。2008年入選北京市科技新星計劃（A類）。

微納感測器及系統、微弱信號檢測

受英國皇家學會支持，2006年赴英國盧瑟福國家實驗室微結構中心和牛津大學工程系開展合作研究。作為院公派高級訪問學者，2009年赴美國UC Berkeley開展合作研究。

先後承擔國家自然科學基金、863計劃、院儀器研製、北京市自然科學基金等10餘項科研項目。先後從事表面等離子諧振（SPR）生化分析系統、電化學感測器、硅微慣性感測器、微流控晶元、MEMS封裝技術等研究，研製出雙參數高解析度SPR、電化學—SPR、高通量SPR等系列產品，研製出攜帶型電化學分析儀、用於組織工程的微流控檢測晶元、三軸硅微加速度感測器、三軸微機械陀螺儀等微感測器及檢測系統。發表論文70餘篇，被SCI/EI收錄30餘篇，申請國家專利10項，4項獲授權。

目前的研究興趣主要集中在：MEMS慣性感測器設計及製作；諧振式微機械感測器的設計、加工及微弱信號檢測；MEMS圓片級真空封裝技術等。

2018年8月3日，國家自然科學基金委員會公布2018年度國家傑出青年科學基金建議資助項目申請人名單，其中王軍波研究領域的《MEMS感測器》項目在2018年度國家傑出青年科學基金建議資助項目申請人名單內。