中國科學院上海微系統與信息技術研究所
中國科學院上海微系統與信息技術研究所
中國科學院上海微系統與信息技術研究所原名中國科學院上海冶金研究所，前身是成立於1928年的國立中央研究院工程研究所，是中國最早的工學研究機構之一。新中國成立后隸屬中國科學院，曾命名中國科學院工學實驗館、中國科學院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根據科研領域和科技發展目標的調整，更名為中國科學院上海微系統與信息技術研究所（簡稱上海微系統所）。
中國科學院上海微系統與信息技術研究所學科領域為：電子科學與技術、信息與通信工程；學科方向為微小衛星、無線感測網路、未來移動通信、微系統技術、信息功能材料與器件。
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所有在職職工780人，其中一線科技和管理人員685人，研究員及正高級工程技術人員89人，有院士3人；有8個研究室，6個分支機構，其中國家重點實驗室2個，中科院重點實驗室2個。
中國科學院上海微系統與信息技術研究所
1928年6月，國立中央研究院理化事業研究所（含物理、化學、工程三組）在上海成立。
1928年7月，國立中央研究院工程研究所分開建所，首任所長周仁。
1930年初，物理、化學、工程三所共用的理工實驗館動工建造。
1938年，抗日戰爭爆發后，研究所內遷昆明。
1945年9月，研究所在昆明更名為國立中央研究院工學研究所。
1946年6月，抗日戰爭勝利后，研究所回遷上海，留下部分為昆明工作站。
新中國成立后隸屬於中國科學院，1950年3月，曾命名為中國科學院工學實驗館。
1953年2月，更名為中國科學院冶金陶瓷研究所，周仁任所長。
1955年，籌建長沙分所。
中國科學院上海微系統與信息技術研究所
1959年2月，以陶瓷部分為基礎成立中國科學院硅酸鹽化學與工學研究所（后更名為中國科學院上海硅酸鹽研究所）。本所更名為中國科學院冶金研究所。
1959年5月，昆明工作站獨立命名為：中國科學院昆明冶金陶瓷研究所（現昆明貴金屬研究所）。
1968年3月，被解放軍十六院接管；5月，被授予解放軍一六零三研究所番號。
1970年10月，回歸地方並更名為中國科學院上海冶金研究所。
1984年，甲種分離膜製造技術獲國家發明一等獎。
1998年6月，國務院科教領導小組批准中國科學院進入知識創新工程試點，上海微系統所作為上海高技術研究發展基地五個成員之一，被列入首批啟動單位。
2001年8月，根據研究所科研領域的變遷和科技發展戰略目標的調整，經中國科學院和國家有關部門批准將所名更改為中國科學院上海微系統與信息技術研究所。
2003年10月，“創新一號”01星成功發射運行。
2008年9月，“神舟七號”伴隨小衛星成功發射運行。
2008年12月，“創新一號”02星成功發射運行。
2010年3月，上海物聯網中心成立。
2011年11月，“創新一號”03星成功發射運行。
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所有在職職工780人，其中一線科技和管理人員685人，研究員及正高級工程技術人員89人，有中國科學院院士2人，美國國家科學院外籍院士1人，有國家7人和青年2人，中國科學院“百人計劃”入選者18人，國家傑出青年科學基金獲得者4人，國家“百千萬人才工程”入選者6人，上海市科技領軍人才8人次。
中國科學院院士：鄒世昌、王曦
| 其他科學院院士 | |
|---|---|
| 類別 | 姓名 |
| 美國國家科學院外籍院士 | 李愛珍 |
| 國家傑出青年科學基金獲得者 | |
|---|---|
| 姓名 | 入選時間 |
| 曹俊誠 | 2004年 |
| 程建功 | --- |
| 李昕欣 | 2007年 |
| 王曦 | --- |
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所有8個研究室，6個分支機構（共建機構） ，研究所有國家重點實驗室2個，中科院重點實驗室2個。
國家重點實驗室：感測技術聯合國家重點實驗室/微系統技術重點實驗室、信息功能材料國家重點實驗室
中科院重點實驗室：中科院無線感測網與通信重點實驗室、中科院太赫茲固態技術重點實驗室
| 分支機構（共建機構） | |
|---|---|
| 中科院嘉興無線感測網工程中心 | 中科院南京寬頻無線移動通信研發中心 |
| 中科院杭州射頻識別技術研發中心 | 中科院南通光電工程中心 |
| 中科院嘉興輕合金技術工程中心 | 上海無線通訊研究中心 |
• 國際交流
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所參與歐洲第六框架計劃、歐洲伽利略空間計劃、中芬信息通信技術（ICT）戰略聯盟等國際合作計劃，與德國於利希研究中心共建“中德超導與生物電子學聯合實驗室”、與荷蘭IMC公司共建“SIMIT-IMEC物聯網聯合實驗室”，在超導、生物電子、無線通信、物聯網、醫療電子等領域開展了全方位的合作。
| 中外聯合共建合作機構 | |||
|---|---|---|---|
| 序號 | 名稱 | 合作機構 | 成立時間 |
| 1 | 納米半導體存儲技術聯合實驗室 | 中芯國際 | 2007年3月 |
| 2 | 納米電子器件聯合實驗室 | 香港科技大學 | 2008年2月 |
| 3 | 無線通信技術聯合實驗室 | 諾基亞 | 2008年6月 |
| 4 | 遠程聯合實驗室 | Prompt Inc. 和ETS | 2008年10月 |
| 5 | 中澳太赫茲技術聯合實驗室 | 伍倫崗大學 | 2008年12月 |
| 2009年國際合作項目 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 序號 | 名稱 | 國外合作方 | 領域 | 類別 |
| 1 | B3G/4G空中介面技術研究 | Nokia Siemens Networks | 通信 | 雙邊 |
| 2 | OFDMA系統中的MIMO技術研究 | Quebec University | 通信 | 雙邊 |
| 3 | 中法天文小衛星 | Centre National d’Etudes Spatiales | 空間 | 雙邊 |
| 4 | 硅儲存技術研究 | Silicon Storage Technology,Inc. | 材料 | 雙邊 |
| 5 | 鎂合金SCC性能研究 | Toyota Motor Corp. | 材料 | 雙邊 |
| 6 | 半導體太赫茲振蕩源與物理研究 | University of Wollongong | 信息 | 雙邊 |
• 所地合作
交流
2014年，研究所與杭州臨江新城簽約共建“中科院杭州汽車電子工程中心”，並成立產業化公司，與嘉興市人民政府簽約共建“中科院海寧納米電子材料與器件工程中心”。
• 研究設施
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所微系統工藝平台坐落於上海市宜山路800號，於2003年建成，微系統工藝平台建有100級凈化廠房70平方米，1000級凈化廠房700平方米；微系統封裝平台位於上海漕河涇高新技術開發區，擁有封裝和測試設備，凈化室總面積約800平方米，總資產超過4000萬元；上海市集成光學技術研究中心位於上海市長寧路865號，中心包括兩個組成部分：工藝加工平台和測試實驗室。中心現有1000級凈化廠房100平方米，10000級凈化廠房250平方米。
• 儀器設備
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所構建了多個科研研究平台，建有上海材料與製造大型儀器區域中心，中心現有大型儀器超過100台，總金額約6億元。通過中科院儀器設備共享管理平台將100餘台通用儀器設備實現了公用共享，主要儀器設備如下表所示：
| 主要儀器設備 | |||
|---|---|---|---|
| 多功能等離子工藝系統 | 高真空磁控濺射設備 | 超高真空電子束蒸發設備 | 原子力顯微鏡 |
| 低溫鍵合機 | 化學機械拋光機 | 快速退火爐 | 儲氫合金粉/鎳氫電池/儲氫容器 |
| 高溫退火爐 | 反應離子刻蝕機 | 電子束爆光機 | 電感耦合等離子體原則發射光譜儀 |
| 發射掃描電子顯微鏡 | PCRAM電子測試系統 | 變溫霍爾系統 | LAND電池測試系統 |
| 四探針電阻測試儀 | 高速示波器 | 邏輯分析儀 | ARBIN電池測試系統 |
| 光刻機 | PECVD澱積設備 | RIE和ICP等離子刻蝕設備 | 磁控濺射設備 |
| 電子束鍍膜機 | 解理划片機 | 超聲金絲球焊機 | DWDM光器件測試系統 |
| 光譜分析儀 | 光纖熔接機 | ASE寬頻光源 | 穩定化光源 |
| UV固化機 | 5-Axis調節架 | 光功率計 | 多通道數字示波器 |
| 曙光伺服器 | 寬頻介電譜儀 | 液相感應等離子體塗層系統 | 鎢燈絲掃描電子顯微鏡 |
| X-ray衍射儀系統 | 離子色譜系統 | 射頻輝光放電質譜 | 總硫分析儀 |
• 館藏資源
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所圖書館館藏為：中文圖書1萬多冊，西文圖書1.4萬多冊，西文、日文、中文期刊共500多種，已開通了ISI Web of Knowledge, Elsevier, Springer等網路資料庫，並與中國科學院國家科學數字圖書館、國家科技圖書文獻中心建立了全文傳遞服務。中西文圖書和期刊均已實現全天候網路查詢。
• 獲獎概況
根據2016年1月研究所官網顯示，自新中國成立以來，中國科學院上海微系統與信息技術研究所已獲得國家級獎勵50餘項、部委省市級獎勵330餘項。
| 獲獎概況 | ||
|---|---|---|
| 獲獎名稱 | 類別 | 授獎部門 |
| 無線感測器網路及其在國家安全中的應用 | 上海市科技進步一等獎 | 上海市 |
| 複雜環境與機動應用的寬頻無線接入系統 | 上海市科技進步二等獎 | 上海市 |
| 具有可重配置、增強抗干擾、接入控制與交換能力的低軌衛星CDMA通信載荷技術 | 上海市科技進步二等獎 | 上海市 |
| WXH地面CGZCW | 全軍科技進步一等獎 | |
| 熒光化學感測式痕量炸藥探測儀 | 上海市科技進步二等獎 | 上海市 |
| 射頻系統級封裝技術及其應用 | 上海市科技進步一等獎 | 上海市 |
| 面向航天遙感應用的短波紅外InGaAs光電探測器外延材料 | 上海市科技進步二等獎 | 上海市 |
| 基於工藝選擇性的MEMS三維製造關鍵技術與設計方法 | 國家技術發明二等獎 | 國務院 |
| 微機械空燃比感測器和生物感測器 | 中科院科技進步獎 | 中科院 |
| 氧感測器微型化基礎技術研究及其在醫學和環保中的應用 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| InP基OEIC結構的GSMBE直接生長與物理研究 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| 中遠紅外波段AlInAs/GaInAs/InP量子級聯激光器材料 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| 用離子束技術改善人工心臟瓣膜材料的抗凝血性能研究 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| 光通信用微光機電關鍵技術 | 上海市科技進步二等獎 | 上海市 |
| “創新一號”低軌通信小衛星 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| CD-ROM/DVD馬達驅動電路系列開發 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| “創新一號”低軌通信小衛星 | 國家科技進步獎 | 國家科學技術委員會 |
| 高端硅基SOI材料研究和產業化 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| 高性能硅微機械高衝擊加速度感測器關鍵技術 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| 生物晶元系統研究與應用 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| 高端硅基SOI材料研究和產業化 | 國家科技進步獎 | 國家科學技術委員會 |
| 微波射頻寬頻MMIC晶元技術及其在交通信息採集雷達中的應用 | 上海市科技進步獎 | 上海市 |
| MEMS關鍵設計與製造技術及應用 | 上海市科學技術發明獎 | 上海市 |
| 免開顱微創植入式高通量柔性腦機介面 | 2021卓越人工智慧引領者（Super AI Leader，簡稱SAIL獎） | — |
| 資料來源：詳細獲獎概況詳見： | ||
• 論文發表
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所新能源技術中心發表論文200餘篇，申請專利40餘項。
2013年，研究所在國內外刊物發表論文461篇，其中SCI（科學引文索引）收錄144篇，EI（工程索引）收錄159 篇，申請專利234項，授權專利154項。
2012年，研究所在國內外刊物發表論文395篇，其中SCI收錄142篇，EI收錄135篇，申請專利268項，授權專利139項。
• 項目承擔
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所感測技術國家聯合重點實驗室承擔了本領域的2個973項目；在感測技術領域的國家自然科學基金項目中，實驗室負責承擔了4項重點項目和1項國家傑出青年基金項目等，並負責承擔了多項863項目；中科院太赫固態技術重點實驗室承擔了973、863、國家傑出青年基金、國家自然科學基金項目重大、上海市基礎研究重大與重點、中科院知識創新工程重大、重要方向性項目等科研項目50餘項。
2013年，上海微系統所在研項目 / 課題375項（包括新增項目 / 課題72項）；其中，主持國家重大科技專項課題12項、參加課題36項；主持國家重點基礎研究發展計劃（973計劃）項目5項、參加課題14項；主持（或承擔）國家自然科學基金重點項目3項、面上項目23項、重大研究計劃3項、重點項目5項；主持（或承擔）中國科學院戰略性先導科技專項課題14項；主持（或承擔）院重點部署項目7項；主持（或承擔）科技部、國家自然科學基金委、財政部和院重大儀器研製項目5項；承擔重點國際合作項目5項；承擔院地合作項目15項；承擔國家科技支撐計劃項目2項。
• 《功能材料與器件學報》
功能材料與器件學報
• 學科概況
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所是國務院學位委員會批准的首批博士、碩士學位授予單位之一，中科院碩士、博士研究生重點培養基地之一，設2個一級學科博士/碩士培養點，1個二級學科博士/碩士培養點，有2個一級學科博士后流動站。
博士后流動站：電子科學與技術、材料科學與工程
一級學科博士/碩士培養點：電子科學與技術、信息與通信工程
二級學科博士/碩士培養點：材料物理與化學專業
中科院重點學科：微電子學與固體電子學
• 學科方向
1998年，中國科學院上海微系統與信息技術研究所確 立為中國科學院知識創新工程研究所后，確定了電子科學與技術、信息與通信工程兩大學科領域和微小衛星、無線感測網路、未來移動通信、微系統技術、信息功能材料與器件五個學科方向。
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所有在學研究生442人，其中碩士生267人、博士生175人，在站博士后16人。學生4次獲得全國百篇優秀博士論文，5次獲得中國科學院優秀博士論文，8位研究生獲得中國科學院院長獎特別獎，33位研究生獲得中國科學院院長獎優秀獎，另有60餘人次獲得中科院冠名獎和上海市獎勵。
| 2009年全國百篇優秀博士論文 | |||
|---|---|---|---|
| 論文名稱 | 完成人 | 導師 | 時間 |
| 高性能MEMS射頻無源器件與三維硅微機械加工技術 | 顧磊 | 李昕欣 | 2009年 |
| 資料來源： | |||
中國科學院上海微系統與信息技術研究所
從色彩上看，藍色是指蔚藍的天空和湛藍的海洋，表示中國科學院上海微系統與信息技術研究所科研人員在科學的殿堂里上天搏擊、下海遨遊、乘風破浪、不斷攀登高科技領域尖端科學的氣魄。藍色又表示平和、樸實，反映出中國科學院上海微系統與信息技術研究所科研人員腳踏實地、嚴謹務實的科學精神。
從整體上看，整個設計體現了中國科學院上海微系統與信息技術研究所建所來凝聚出的“團結、高效、嚴謹、創新”八字所風，四條弧線的緊緊疊加和開放式的伸展，表示作為微系統與信息技術研究所的職工在從事科研活動中，團結協作、繼往開來、與時俱進的精神風貌。色彩由深變淺，體現出了科研人員力求變革、努力探索科學奧秘的不懈追求以及一步一個腳印、循序漸進、紮實的工作態度。
根據2016年1月研究所官網顯示，中國科學院上海微系統與信息技術研究所舉辦了中醫食療的應用、科技創新與知識產權保護、學術評價體系淺談的主題沙龍，每年舉辦冬季運動會、國學知識競賽等活動。
基本信息
- 中文名
- 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
- 前身
- 國立中央研究院工程研究所
- 屬性
- 中國科學院知識創新工程（1998）
- 專職院士
- 美國國家科學院院士1人
- 主管部門
- 中國科學院
- 博士後點
- 2個
- 博士點
- 3個（一級學科2個）
- 碩士點
- 3個（一級學科2個）
- 教育職能歸口
- 國家實驗室
- 感測技術聯合國家重點實驗室